05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Название работы	Автор	Дата защиты
Получение и исследование крупных монокристаллов синтетического алмаза для применения в полупроводниковой технике	Фейгельсон, Борис Николаевич	2003
Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС	Епимахов, Игорь Дмитриевич	2003
Молекулярно-лучевая эпитаксия гетероэпитаксиальных структур SiGe/Si	Русаков, Демьян Николаевич	2003
Моделирование технологически значимых процессов, определяющих термомиграцию жидких включений в полупроводниковых кристаллах	Малибашев, Александр Владимирович	2003
Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники	Каратунов, Юрий Владимирович	2003
Исследование кристаллогенезиса полупроводников A III B V из висмутсодержащих расплавов : На примере InSbBi, AlInSbBi	Баранник, Алексей Анатольевич	2003
Исследование и моделирование функциональных и эксплуатационных характеристик приборов и оборудования для высокоточных температурных технологий	Тарасов, Роман Юльевич	2003
Исследование конструктивно-технологических особенностей проектирования высокоизбирательных фильтров на поверхностных акустических волнах в условиях крупносерийного производства	Шермагина, Елена Юрьевна	2003
Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники	Копейкин, Андрей Николаевич	2003
Гетероструктуры InSb1-x Bi x /InSb и GaSb1-x Bi x /GaSb с квантовыми ямами: технология получения и свойства	Драка, Оксана Евгеньевна	2003
Выращивание квазиоднородных слоев AlxGa1-xAs жидкофазной эпитаксией с подпиткой кристаллическим источником	Патаридзе, Зураб Гивиевич	2003
Тонкие пленки углерода: выращивание пучками заряженных частиц, фазообразование, строение и свойства	Семенова, Ирина Александровна	2002
Технология, фазовый состав, тонкая структура и свойства фотоситаллов и алюмооксидной керамики	Красников, Анатолий Сергеевич	2002
Проходная оптика мощных широкоапертурных импульсных лазеров среднего ИК диапазона	Казанцев, Сергей Геннадьевич	2002
Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках	Панфилов, Игорь Владимирович	2002
Получение твердых растворов AllnGaPAs и InGaPSbAs на основе арсенида галлия из жидкой фазы	Мышкин, Алексей Леонидович	2002
Получение гетероструктур на основе германия и арсенида индия для термофотоэлектрических преобразователей	Олива, Эдуард Владимирович	2002
Повышение оперативности управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП-ИС	Чухраев, Игорь Владимирович	2002
Особенности формирования дислокационной структуры в промышленных монокристаллах арсенида и фосфида галлия большого диаметра	Гончарова, Наталья Вячеславовна	2002
Метод управления процессами тепломассопереноса при выращивании кристаллов посредством изменения симметрии и вращения теплового поля	Кох, Александр Егорович	2002
Материаловедческие основы технологии получения термоэлектрических модулей из слитков твердых растворов Bi2 Te3-Bi2 Se3 и Bi2 Te3-Sb2 Te3 большого диаметра	Фролов, Андрей Михайлович	2002
Закономерности формирования и свойства гетероструктур на основе неупорядоченных полупроводников	Шерченков, Алексей Анатольевич	2002
Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектронике	Белянин, Алексей Федорович	2002
Моделирование и получение твердых растворов InAlGaPAs на подложках GaAs и InP	Столярова, Валентина Вячеславовна	2002
Технология и исследование конденсаторных структур на основе сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца	Панкрашкин, Алексей Владимирович	2002
Фотопроводимость и плотность состояний в a-Si: H и сплавах на его основе	Горбулин, Григорий Львович	2001
Технология, свойства и применение кристаллов на основе диоксида циркония	Ломонова, Елена Евгеньевна	2001
Технологические основы разработки композиционных эмиттеров вторичных электронов для вакуумных изделий электронной техники	Жданов, Сергей Михайлович	2001
Солнечные элементы на основе аморфного гидрогенизированного кремния, полученные в низкочастотном тлеющем разряде	Черномордик, Владимир Дмитриевич	2001
Синтез и исследование стекловидных диэлектрических материалов и пленок на их основе, полученных золь-гель методом	Дворников, Сергей Александрович	2001

Электронная библиотека диссертаций