Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС
- Автор:
Епимахов, Игорь Дмитриевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
188 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Получение и исследование крупных монокристаллов синтетического алмаза для применения в полупроводниковой технике | Фейгельсон, Борис Николаевич | 2003 |
| Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе | Калугин, Виктор Владимирович | 2001 |
| Синтез и исследование кристаллов AgClxBr1-x, AgClxBryI1-x-y, легированных редкими элементами, и получение световодов на их основе | Примеров, Николай Витальевич | 2010 |