Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС
- Автор:
Епимахов, Игорь Дмитриевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
188 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование причин деградации и разработка подходов к повышению стабильности наноразмерных межсоединений СБИС | Буздуган, Алексей Анатольевич | 2008 |
| Закономерности осаждения слоёв диоксида титана из газовой фазы, содержащей тетраизопропилат титана | Барышникова, Марина Владимировна | 2013 |
| Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении | Бритков, Олег Михайлович | 2009 |