05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Название работы	Автор	Дата защиты
Эпитаксия твердых растворов AIIIBV с микро- и наноструктурой в поле температурного градиента	Сысоев, Игорь Александрович	2010
Термические характеристики и стабильность тонких пленок на основе a-Si:H и его сплавов и халькогенидных полупроводников системы Ge-Sb-Te	Горшкова, Екатерина Викторовна	2010
Синтез и физико-химические свойства кристаллических материалов для сенсорных устройств в системе Li2MoO4 - Li2WO4	Кирсанова, Светлана Викторовна	2010
Синтез и исследование кристаллов AgClxBr1-x, AgClxBryI1-x-y, легированных редкими элементами, и получение световодов на их основе	Примеров, Николай Витальевич	2010
Разработка технологии изготовления термоэлектрических материалов из субмикронных и нанопорошков сплавов теллурида висмута для создания высокоэффективных твердотельных преобразователей энергии	Романько, Василий Анатольевич	2010
Получение композиционных материалов с использованием фотохромных и светоизлучающих соединений и применение многослойных структур на их основе в устройствах хранения и обработки информации	Гребенников, Евгений Петрович	2010
Получение и свойства стеклообразных полупроводниковых материалов в системах Ge-S-Br и Ge-Se-Br	Крылов, Николай Иванович	2010
Повышение качества бипланарных электронно-оптических преобразователей по параметру "отношение сигнал-шум" за счет разработки новых технологических режимов операции финишной обработки	Коновалов, Павел Игоревич	2010
Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий	Невшупа, Роман Александрович	2010
Модификация эпитаксиальных слоев нитрида галлия в области дефектов роста методом периодического ионно-лучевого осаждения-распыления	Беспалов, Алексей Викторович	2010
Кристаллизация стекол в системах Bi2O3-SiO2 и Bi2O3-GeO2	Ворончихина, Мария Евгеньевна	2010
Исследование и разработка технологии создания микромодулей бесконтактной идентификации для электронных документов	Вишницкий, Александр Федорович	2009
Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве	Овчинников, Вячеслав Алексеевич	2009
Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев GaN,InxGa1-xN и AlxGa1-xN методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений для светоизлучающих структур	Ермошин, Иван Геннадьевич	2009
Разработка основ технологии новых металлоуглеродных нанокомпозитов и углеродного нанокристаллического материала под действием ИК нагрева полимеров	Козлов, Владимир Валентинович	2009
Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении	Бритков, Олег Михайлович	2009
Получение, электрофизические и термочастотные свойства сегнетопьезоэлектрических твердых растворов многокомпонентных систем	Юрасов, Юрий Игоревич	2009
Повышение однородности состава и равномерности толщины многослойных тонкопленочных покрытий на поверхностях большого размера	Колесник, Леонид Леонидович	2009
Оптические и электрофизические свойства тонких нанострктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления	Воронов, Павел Евгеньевич	2009
Оборудование для контроля анодного тока при высоковольтной тренировке в производстве рентгеновских приборов	Перес Васкес Нельсон Отониель	2009
Разработка и исследование технологических основ создания углеродных нанотрубок методом каталитического пиролиза этанола	Симунин, Михаил Максимович	2009
Конструирование и технология производства полупроводниковых приборов миллиметрового диапазона и устройств на их основе	Попов, Владимир Васильевич	2009
Исследование процессов роста и свойств многокомпонентных полупроводников с заданной субструктурой в системах Ga-Sb-Bi, In-Sb-Bi и Ga-In-As-Sb-Bi	Подщипков, Дмитрий Геннадиевич	2009
Разработка и исследование волоконно-оптических датчиков влажности газов	Дикевич, Алексей Александрович	2009
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники	Симакин, Сергей Борисович	2009
Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения	Русанов, Антон Викторович	2009
Синтез, структура и свойства кристаллов ZrO2, частично стабилизированных Y2O3	Кулебякин, Алексей Владимирович	2009
Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком	Савенко, Алексей Юрьевич	2008
Экспериментальное определение тонких механизмов поглощения водорода титаном для расширения номенклатуры эксплуатационных характеристик пористых геттеров	Полунина, Алиса Александровна	2008
Исследование причин деградации и разработка подходов к повышению стабильности наноразмерных межсоединений СБИС	Буздуган, Алексей Анатольевич	2008

Электронная библиотека диссертаций