Молекулярно-лучевая эпитаксия гетероэпитаксиальных структур SiGe/Si
- Автор:
Русаков, Демьян Николаевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
184 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Молекулярно-лучевая эпитаксия гетероэпитаксиальных структур SiGe/Si», автор — Русаков, Демьян Николаевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.06. Работа подготовлена в городе Москва в 2003 году. Объем работы: 184 с. : ил.. Внутренний код товара: 01002615182. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование свойств и закономерностей формирования массивов металлических наночастиц одно- и двухкомпонентных систем методом вакуум-термического испарения | Савицкий, Андрей Иванович | 2018 |
| Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках | Кравченко, Анатолий Анатольевич | 2012 |
| Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве | Овчинников, Вячеслав Алексеевич | 2009 |