Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники
- Автор:
Копейкин, Андрей Николаевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
227 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка методов управляемого формирования и исследование тонкопленочных опаловых наноструктур | Беседина, Ксения Николаевна | 2014 |
| Солнечные элементы на основе аморфного гидрогенизированного кремния, полученные в низкочастотном тлеющем разряде | Черномордик, Владимир Дмитриевич | 2001 |
| Низкочастотный тлеющий разряд и механизмы роста в нем пленок a-Si: H и сплавов на его основе | Попов, Александр Афанасьевич | 1999 |