Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве
- Автор:
Овчинников, Вячеслав Алексеевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2009
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
242 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве», автор — Овчинников, Вячеслав Алексеевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.06. Работа подготовлена в городе Москва в 2009 году. Объем работы: 242 с. : ил.. Внутренний код товара: 01004562928. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Микропрофилирование композиции "SiC-AlN" методом реактивного ионно-плазменного травления | Лютецкая, Ирина Геннадиевна | 1999 |
| Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента | Середин, Лев Михайлович | 2000 |
| Разработка двух- и трехкомпонентных пьезокомпозитов с улучшенными электромеханическими свойствами для акустических преобразователей | Борзов, Петр Алексеевич | 2018 |