Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве
- Автор:
Овчинников, Вячеслав Алексеевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2009
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
242 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Особенности формирования дислокационной структуры в промышленных монокристаллах арсенида и фосфида галлия большого диаметра | Гончарова, Наталья Вячеславовна | 2002 |
| Разработка способов повышения эффективности пьезокерамических материалов для устройств электронной техники | Мараховский, Михаил Алексеевич | 2014 |
| Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы | Мьо Хейн Зо | 2008 |