Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве
- Автор:
Овчинников, Вячеслав Алексеевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2009
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
242 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Выращивание монокристаллов и суперионная проводимость нестехиометрических фторидов со структурой типа тисонита (LfF3 ) | Фоминых, Максим Валентинович | 1999 |
| Термомеханическая обработка материалов проходной оптики лазеров среднего ИК - диапазона | Петраков, Валерий Сергеевич | 2006 |
| Эволюция межфазных границ в процессе зонной перекристаллизации в поле температурного градиента с учетом гидродинамических эффектов | Кулинич, Наталья Владимировна | 1998 |