Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве
- Автор:
Ковалев, Анатолий Андреевич
- Шифр специальности:
05.27.07
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2000
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
225 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве», автор — Ковалев, Анатолий Андреевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.07. Работа подготовлена в городе Москва в 2000 году. Объем работы: 225 с. : ил.. Внутренний код товара: 01003294122. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок : Применительно к сборке ИС в полимерные корпуса | Тыщишин, Василий Васильевич | 1999 |
| Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц | Угольников, Сергей Викторович | 1998 |
| Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования | Пересадько, Андрей Григорьевич | 2000 |