Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий

• Автор: Васин, Владимир Анатольевич
• Шифр специальности: 05.27.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 364 с. : ил.

ГЛАВА 1. ГЛАВА 2. ГЛАВА 3. Выводы . ГЛАВА 4. Необходимо отметить, что используемая в настоящее время отечественная высокопакуумная коммутационная аппаратура, которая применяется для герметизации вакуумных объмов на границе атмосфера высокий вакуум, что накладывает чткие требования на уровень усилий уплотнения и вызывает необходимость создания конструкции, способной воспринять реакцию возникающих в уплотнении усилий, в связи с этим довольна металломка. В данном обзоре рассматриваются клапаны и затворы, позволяющие осуществлять дистанционное программное управление. Отечественная промышленность выпускает клапаны с электромагнитным, электромеханическим, и электроиневматическим приводом. Не останавливаясь подробно на каждом из них следует остановиться на характеристиках двух типов клапанов электропневматическом и электромеханическом. Электропневматические клапаны получили широкое распространение в отечественной и зарубежной практике. Они, как правило, просты в конструктивном отношении, имеют малые габаритные размеры, наджны в эксплуатации, работают под давлением 0,4 0,6 МПа.


Необходимо отметить, что используемая в настоящее время отечественная высокопакуумная коммутационная аппаратура, которая применяется для герметизации вакуумных объмов на границе атмосфера высокий вакуум, что накладывает чткие требования на уровень усилий уплотнения и вызывает необходимость создания конструкции, способной воспринять реакцию возникающих в уплотнении усилий, в связи с этим довольна металломка. В данном обзоре рассматриваются клапаны и затворы, позволяющие осуществлять дистанционное программное управление. Отечественная промышленность выпускает клапаны с электромагнитным, электромеханическим, и электроиневматическим приводом. Не останавливаясь подробно на каждом из них следует остановиться на характеристиках двух типов клапанов электропневматическом и электромеханическом. Электропневматические клапаны получили широкое распространение в отечественной и зарубежной практике. Они, как правило, просты в конструктивном отношении, имеют малые габаритные размеры, наджны в эксплуатации, работают под давлением 0,4 0,6 МПа. Недостатком клапанов данного типа является невозможность прогрева. Конструкция электропневматического клапана типа КПУ представлена на рис. Корпус клапана лигой из алюминиевого сплава А Л9. В качестве уплотнителя используется вакуумная резина, марка которой может меняться в зависимости от заданных требований. Другой разновидностью электропневматических клапанов являются клапаны типа КПУТ клапаны пневматические условно термостойкие рис. В клапанах этого типа в отличие от предыдущей конструкции в качестве уплотнения используется термостойкая резина ТКР, допускающая прогрев до 0 С. Рис.