Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения
- Автор:
Королев, Алексей Николаевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Таганрог
- Количество страниц:
169 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения», автор — Королев, Алексей Николаевич, относится к типу: докторская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Таганрог в 1998 году. Объем работы: 169 с. : ил.. Внутренний код товара: 01000242007. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств | Амиров, Ильдар Искандерович | 2010 |
| Электрические и фотоэлектрические свойства диодных структур на основе полупроводниковых соединений А3 В5 | Фетисова, Валентина Михайловна | 2002 |
| Физико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений | Шевяков, Василий Иванович | 1998 |