Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств
- Автор:
Амиров, Ильдар Искандерович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
2010
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
300 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств», автор — Амиров, Ильдар Искандерович, относится к типу: докторская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 2010 году. Объем работы: 300 с. : ил.. Внутренний код товара: 01005025733. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Электрофизические свойства и оптимизация параметров эпитаксиальных псевдоморфных НЕМТ структур с односторонним и двухсторонним дельта - легированием | Климов, Евгений Александрович | 2012 |
| Влияние спектрального состава света и фазового состава полупроводниковой мишени на вторично-ионный фотоэффект | Матасов, Максим Дмитриевич | 2013 |
| Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники | Савкин, Алексей Владимирович | 2002 |