Физико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений
- Автор:
Шевяков, Василий Иванович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
367 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Физико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений», автор — Шевяков, Василий Иванович, относится к типу: докторская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 1998 году. Объем работы: 367 с. : ил.. Внутренний код товара: 01000204887. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Физико-технологические основы формирования контактов к карбиду кремния методами импульсной термообработки | Агеев, Олег Алексеевич | 2005 |
| Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3 | Гуляев, Вячеслав Валентинович | 2011 |
| Моделирование методом Монте-Карло физических процессов взаимодействия нерелятивистских электронов с веществом | Борисов, Сергей Сергеевич | 2006 |