Низкотемпературные методы синтеза стеклообразных оптических материалов

• Автор: Евстропьев, Сергей Константинович
• Шифр специальности: 05.17.11
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 283 с. : ил.

ИССЛЕДОВАИЕ ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА ИОНООБМЕННЫХ СЛОЕВ

2. ИОННОМ ОБМЕНЕ НзстКрасн. БОРОСИЛИКАТНОМ СТЕКЛЕ ПРИ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОМ ИОННОМ ОБМЕНЕ 3 сг. Однако прирост ПП, ДЛП и толщина светонесущего слоя для Юдиффузионных волноводов на применявшихся до начала наших исследований традиционных промышленных стеклах были невысоки Ап 8 3, 5п 2 3 , й мкм напр. В некоторых случаях при создании волноводных ионообменных структур используются дополнительные технологические приемы. Одним из распространенных методов ускорения ионообменного процесса при создании волноводов является его стимуляция электрическим полем напр. Однако это сильно усложняет технологический процесс. Увеличение толщины волноводного слоя может быть достигнут также дополнительным отжигом волноводной структуры . Однако необходимость дальнейшего совершенст вования ионообменного процесса для получения глубоких мкм волноводных слоев к моменту начала наших исследований была очевидной. Особый интерес для интегральной оптики представляют заглубленные волноводы, т.


Авторам удалось получить хорошее соответствие с оптическими свойствами слоев, полученных ионным обменом Ыаст. Сярасп . Однако попытка исследования Кдиффузионных слоев авторам не удалась. Широко распространенным методом исследования химического состава поверхностных слоев стекла является метод НРсекуционирования V наир Сущность метода заключается в послойном стравливании тонких поверхностных слоев стекла в растворах НР и последующем анализе этих растворов методами пламенной фотометрии или атомноабсорбционной спектрофотометрии. В этот метод применен для изучения химического состава волноводных ионообменных слоев. Однако следует отметить, что традиционно применяемое в этом методе определение толщины стравленного слоя по убыли в весе образца или по содержанию кремния в травильных растворах при исследовании тонких ионообменных слоев может приводить к значительным погрешностям. Для исследования профиля концентрации в 4 диффузионных слоях в предложен люминесцентный метод анализа. Эффективный для исследования структуры ст екла, этот метод требует, однако, знания концентрационной зависимости выхода люминесценции, определение которой методически сложно. Перспективным методом определения химического состава тонких ионообменных слоев является ядернофизический метод анализа, основанный на обратном мессбауэровском рассеянии ионов от поверхности стекла. Этот метод был применен для исследования и Т1 диффузионных волноводов на стеклах. Использование методов, основанных на анализе взаимодействия поверхности стекла с ускоренными ионами позволяет провох1ить элементный количественный анализ материала.