Математическое моделирование микроэлектромеханических систем на основе композитных сред

• Автор: Терин, Денис Владимирович
• Шифр специальности: 05.13.18, 05.27.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2004
• Место защиты: Саратов
• Количество страниц: 148 с.

1.1. Микросистемная техника. Перспективы и применения

1.2.0бщий подход к моделированию микро и

наноэлектромеханических систем

ГЗ.Моделирование перемещений подвижных элементов

МЭМС

1.4. Моделирование межмолекулярных силовых взаимодействий в МЭМС.

1.5. Моделирование свойств композитных сред.

1.6. Современные средства моделирования и разработки

МЭМС

ГЛАВА 2 Моделирование поведения МЭМС с учетом сил

различной природы.

2.1 .Перемещение элементов МЭМС.
2.2.Электростатические взаимодействия в МЭМС
2.3. Поведение МЭМС, обусловленное силами
межмолекулярного взаимодействия.
ГЛАВА 3 Моделирование свойств композитных сред в МЭМС
3.1. Модель эффективной среды.
3.2. Вычислительный аспект исследования модели эффективной среды.
3.3. Моделирование свойств композитных сред в низкочастотной области.
3.4. Физическая модель композита.
3.5. Моделирование свойств деформирумого композита
ГЛАВА 4 Моделирование управляемых МЭМС устройств.
4.1. Комплементарный МЭМС инвертор
4.2. Управляемая МЭМС плоскость аналог фазового
перехода
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА


Новый трехмерный чувствительный элемент акселерометр , изготовлен с использованием смешенной иЧЫОА и жертвенной технологий. Рис. И. Крупный план копни консо. Рис. СЭМ микрофотографии
сконфигурирован как дифференциальный конденсатор с подвижной сосредоточенной массой среднего электрода. При изготовление применялась простая планарная технология, включающая только несколько технологических операций. Целые структуры сначала электрохимически выращивают в пределах и Vшаблон на толстого А2 фоторезиста на основе гальванического покрытия, которое состоит из твердого Си и жертвенного слоя П. Подвижные никелевые части получают, используя влажное травление нижнего Т жертвенного слоя. Сенсорные структуры могут быть получены размером до мкм. Данный подход изготовления может широко применяться, чтобы экономно создавать другие микромеханичсскис узлы для осциллирующих структур. Усовершенствованно три новых типа трехмерных металлических микроструктур путем электролитического осаждения фоторезиста на структурноразвитую поверхность объединенную с гальваническим покрытием. В первом случае, в едином цикле нанесенные гальваническим способом никелевые консоли сформированы на наклонных бортовых стенках кремния, травимого КОН. Консоли созданы жертвенным травлением меди. В другом случае показано, как КОН травимые кремниевые V пазы могут быть сформированы электроосажденным фоторезистом. Демонстрируется потенциал этой технологии, новая структура из никелевой консоли с клиновидным поперечным разрезом, объединенная с отражающим зеркалом для оптического считывания. Рис. Схема плыааиевой консоли с поперечным ршреюм.