Примесный состав тетрафторидов кремния и германия с естественным содержанием изотопов и изотопно-обогащенных

• Автор: Сорочкина, Татьяна Геннадьевна
• Шифр специальности: 02.00.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2009
• Место защиты: Нижний Новгород
• Количество страниц: 134 с. : ил.

содержание примесей углеводородов.

3.2. Происхождение примесей углеводородов в тетрафториде кремния.

3.3. Исследование образцов тетрафторида кремния на содержание примеси гексафтордисилоксана.
3.4. Исследование образцов тетрафторида германия на содержание примесей углеводородов.
3.5. Исследование образцов тетрафторидов кремния и германия на содержание примеси гексафторида серы.

3.6. Поведение примесей при глубокой очистке тетрафторида кремния

ГЛАВА 4. ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ

4.1. Особенности определения примесного состава тетрафторидов кремния и германия методом газовой хроматографии.

4.2. Степень чистоты исследованных образцов тетрафторидов кремния и германия.

ВЫВОДЫ.
ЛИТЕРАТУРА


Установлено, что источником примесей углеводородов С С4 в тетрафториде кремния является используемый для его получения гексафторсиликат натрия. Впервые идентифицированы и определены количественно примеси углеводородов С С. Практическая ценность работы и реализация результатов. Впервые проведено газохроматографическое определение примесей углеводородов С2 С4 в тетрафториде кремния с природным изотопным составом и изотопнообогащенном с пределами обнаружения 24 6 об. Разработанная методика анализа применялась для контроля чистоты тетрафторида кремния с природным изотопным составом, используемого для изотопного обогащения в центрифугах ОКБ ОАО ГАЗ и для легирования кварцевого стекла фтором и получения кварцевых волоконных световодов. Методика анализа применялась для контроля чистоты изотопнообогащенного БР4, использованного для
получения монокристалла Б для уточнения числа Авогадро и создания физически обоснованного эталона массы. С применением разработанной методики исследованы образцы изотопнообогащенных 2Н8Г4, 8Р4 и 8Р4, использованных для получения образцов высокочистого поликристаллического 2Х8, 8, Б, из которых выращивались монокристаллы. Результаты исследования примесного состава различных фракций, полученных при очистке БГ, применяются для изучения поведения примесей в процессе ректификации. Изучено влияние температуры на состав и количество углеводородов, выделяющихся при терморазложении гексафторсиликата натрия, используемого для получения 8Р. Удаление углеводородов в процессе термообработки позволило в технологическом процессе повысить чистоту получаемого тетрафторида кремния. Впервые проведено газохроматографическое определение примесей углеводородов в тетрафториде германия с природным изотопным составом и изотопнообогащенном с пределами обнаружения 24 6 об. Разработанная методика применялась для контроля чистоты образцов, полученных для исследования из ФГУП ПО Электрохимический завод г. Зеленогорск. Впервые проведено газохроматографическое определение гексафторида серы с пределом обнаружения 8 8 об. Разработанная методика применялась для контроля чистоты образцов, полученных для исследования из ФГУП ПО Электрохимический завод г. Зеленогорск и НТЦ ЦентротехЭхз г. С.Петербург. Оптимизация опытной технологии получения высокообогащенных изотопов кремния для выращивания кристаллов полупроводникового качества. Результаты идентификации примесей углеводородов в тетрафторидах кремния и германия с естественным содержанием изотопов и изотопнообогащенных. Результаты идентификации гексафторида серы в тетрафторидах кремния и германия с естественным содержанием изотопов и изотопнообогащенных. Методики газохроматографического определения примесей углеводородов С1 С4 и гексафторида серы в тетрафториде кремния и германия с естественным содержанием изотопов и изотопнообогащенных. Методика газохроматографического определения примеси гексафтордисилоксана в тетрафторидс кремния. Результаты исследования происхождения примесей углеводородов в тетрафториде кремния и изучения их выделения в зависимости от температуры при терморазложении гексафторсиликата натрия в процессе получения тетрафторида кремния. Апробация работы. Результаты работы докладывались на XI, XII и XIII Конференциях по химии высокочистых веществ г. Нижний Новгород , , г. I, II и III Всероссийском совещаниях Высокочистый моноизотопный кремний. Получение, анализ, свойства и применение г. Нижний Новгород , , г. У1Н Международном симпозиуме по химии фтора г. Бремен, Германия, г. Всероссийском симпозиуме Хроматография и хроматомассспектрометрия г. Москва, , на Всероссийская конференциия Химический анализ г. Москва, , на Симпозиуме Новые высокочистые материалы г. Нижний Новгород г. Публикация результатов. Основное содержание работы опубликовано в 4 статьях в научных журналах и тезисах международных и отечественных научных конференций, перечисленных выше. Структура и объем диссертации. Диссетрация состоит из введения, 4 глав, выводов и списка цитируемой литературы. Работа изложена на 4 страницах машинописного текста, включая рисунок, таблиц и библиографию из 4 наименований.