Лазерное осаждение пленок нитридов бора и углерода из газовой фазы

• Автор: Угаров, Михаил Владимирович
• Шифр специальности: 01.00.00
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 121 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава 1 О свойствах, применении и методах получения пленок нитридов бора и углерода

§1.1 О свойствах и применении нитрида бора и нитрида углерода

§1.2 Методы осаждения ВЫ и СИ пленок

§ 1.3 Об использовании лазеров для осаждения нитридных пленок

Глава 2 Осаждение пленок нитрида бора из газовой фазы под действием излучения эксимерных лазеров

§2.1 Экспериментальная установка

§2.2 Оптическое взаимодействие и активационная стадия роста

§2.3 Кинетика осаждения

§2.4 Исследование структуры, состава и физических свойств пленок

§2.5 Выводы к главе
Глава 3 Моделирование процессов лазерного осаждения пленок из газовых смесей §3.1 Взаимодействие импульсного лазерного излучения
с поверхностью
§3.2 О механизме осаждения пленок
§3.3 Процессы, происходящие между импульсами излучения
§3.4 Процессы, происходящие во время действия
термического импульса
§3.5 Выводы к Главе
Глава 4 Лазерно-химическое модифицирование поверхностей
§4.1 Особенности осаждения на различные подложки
§4.2 Обзор эмиссионных свойств алмазных пленок
§4.3 Результаты лазерной обработки образцов алмазных пленок
§4.4 Результаты измерения параметров электронной эмиссии
§4.5 Исследования структуры и состава поверхностного слоя пленок

§4.6 Модифицирование поверхности СЫ пленок
§4.7 Выводы к главе
Глава 5 Исследование процессов лазерно-плазменного осаждения пленок
§5.1 О методе лазерно-плазменного осаждения
§5.2 Экспериментальная установка
§5.3 Обзор особенностей процесса осаждения ВИ пленок
§5.4 Результаты исследования свойств В1Ч пленок
§5.5 Использование плазменного метода для осаждения СМ пленок
§5.6 Выводы к главе
Заключение
Список литературы
ВВЕДЕНИЕ
Общая характеристика работы
Актуальность исследований
Одним из наиболее динамично развивающихся направлений научных исследований в физике является изучение поверхности твердого тела, а также исследование физических и химических процессов, происходящих при взаимодействии с ней химически активных газов, жидкостей, плазмы и различных видов излучений. Необходимость этих исследований несомненна как с фундаментальной точки зрения, так и с точки зрения применения полученных результатов в конкретных областях техники, где во многих случаях свойства поверхности бывают гораздо важнее объемных свойств материала. В особенности это касается твердости, химической стойкости, а также оптических и электронных свойств.
Таким образом, чрезвычайно актуальны исследования физических и химических методов обработки поверхности с целью придания ей тех или иных необходимых качеств. В последние годы отмечается повышенный интерес к синтезу нитридных пленок, и, в частности, пленок нитридов бора (ВЫ) и нитрида углерода (С1Ч), обладающих, в силу своих уникальных свойств, широкими перспективами для использования в микро- и опто-электронике, в качестве твердых инертных покрытий в системах антикоррозионной и радиационной защиты, в биомедицинском протезировании, в микро-сенсорах, и ДР-
Нитрид бора представляет из себя одно из интереснейших соединений, родственное по своим структурным и физико-химическим свойствам модификациям углерода. Так, например, основные известные кристаллические модификации нитрида бора с гексагональной (ЫТЫ) и кубической решеткой (с-ВН) являются прямыми аналогами графита и алмаза. При этом по совокупности своих материальных свойств бор-нитридные покрытия вполне могут конкуриро-

Скорость осаждения, мкм/имп
Давление, Тор
Рис. 2.10 Зависимость скорости осаждения от давления боразина при двух значениях температуры подложки.