Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе
- Автор:
Шумилов, Андрей Станиславович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2009
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
178 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе», автор — Шумилов, Андрей Станиславович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 2009 году. Объем работы: 178 с. : ил.. Внутренний код товара: 01004585830. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Влияние стехиометрии оптически прозрачных проводящих пленок оксидов индия и олова на их электрофизические и оптические свойства | Гончар, Лариса Исхаковна | 1998 |
| Разработка и исследование толстопленочных и монолитных термочувствительных конденсаторов на основе Ba(Ti1-x Zr x )O3 | Шишкарев, Виктор Вячеславович | 1999 |
| Исследование сегнетоэлектрической керамики на основе титаната бария-стронция для применений в сверхвысокочастотных устройствах | Павлова, Юлия Валерьевна | 2008 |