Процессы химического осаждения золотых покрытий из паровой фазы с использованием металлоорганических соединений

• Автор: Пархоменко, Роман Григорьевич
• Шифр специальности: 02.00.01, 02.00.04
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2014
• Место защиты: Новосибирск
• Количество страниц: 148 с. : ил.

Введение

1. Литературный обзор

1.1. Химическое осаждение золотых покрытий из паровой фазы с использованием металлоорганических соединений

1.1.1. Летучие комплексы золота(1)

1.1.2. Летучие комплексы золота(Ш)

1.1.2.1. Р-дикетонаты диметилзолота(Ш) и их 8,1М-замещённые аналоги

1.1.2.1.1. Давление паров Р-дикетонатов диметилзолота(Ш) и их 8,14-замещённых аналогов
1.1.2.1.2. Термические свойства Р-дикетонатов диметилзолота(Ш) и их вДЯ-замещённых аналогов

1.1.2.2. Карбоксилаты диметилзолота(Ш)

1.1.2.2.1. Давление паров карбоксилатов диметилзолота(Ш)

1.1.2.2.2.Термические свойства карбоксилатов диметилзолота(Ш)

1.1.2.3. М-замещенные салицилальдиминаты диметилзолота(Ш)
1.1.2.3.1. Давление паров М-замещенных салицилальдиминатов диметилзолота(Ш)
1.1.2.3.2. Термические свойства Ы-замещенных
салицилальдиминатов диметилзолота(Ш)
1.1.2.4. Хинолинаты диметилзолота(Ш)
1.1.2.4.1. Давление паров хинолинатов диметилзолота(Ш)
1.1.2.4.2. Термические свойства хинолинатов диметилзолота(Ш)
1.1.2.5. Диэтилдитиокарбамат диметилзолота(Ш)
1.1.2.5.1. Давление паров диэтилдитиокарбамата диметилзолота(Ш)
1.1.2.5.2. Термические свойства диэтилдитиокарбамата диметилзолота(Ш)
1.1.3. Использование летучих соединений золота в процессах МОСТ)

1.2. Получение наночастиц и тонких плёнок золота методами химического 48 восстановления золотосодержащих соединений, электрохимии и PVD
1.3. Заключение
2. Экспериментальная часть
2.1. Исходные реагенты
2.2. Синтез соединений диметилзолота(Ш)
2.3. Методы идентификации соединений
2.4. Кристаллохимические методы исследования соединений
2.5. Термогравиметрический метод исследования соединений
2.6. Термическое разложение паров соединений
2.7. Методы исследования золотых покрытий
2.8. Получение тонких плёнок и наночастиц золота
2.8.1. Условия осаждения пленок золота методом MOCVD в реакторе 68 проточного типа
2.8.2. Условия осаждения наночастиц золота методом PP MOCVD в 70 матрице фотонного кристалла
3. Результаты и их обсуждение
3.1. Синтез и идентификация соединений
3.1.1. Синтез иодида диметилзолота(Ш)
3.1.2. Синтез и идентификация комплексов диметилзолота(Ш)
3.1.2.1. ПК- и ЯМР-спектроскопическое исследование комплексов 74 диметилзолота(1П)
3.2. Кристаллохимическое исследование комплексов диметилзолота(Ш)
3.3. Термическое поведение комплексов диметилзолота(Ш)
3.3.1. Термогравиметрический анализ комплексов диметилзолота(Ш)
3.3.2. Исследование процессов термораспада паров комплексов 84 диметилзолота(Ш) методом масс-спектрометрии
3.4. Осаждение тонких плёнок и наночастиц золота методом MOCVD и их 94 исследование
3.4.1. Влияние экспериментальных параметров MOCVD-процесса на
структуру, морфологию и состав золотых покрытий
3.4.1.1. Осаждение золотых покрытий в атмосфере аргона
3.4.1.2. Осаждение золотых покрытий в атмосфере газов-реагентов
3.4.1.3. MOCVD-процессы осаждения золотых покрытий со 106 стимуляцией вакуумным ультрафиолетом
3.4.1.4. Состав золотых покрытий
3.5. Получение золотых наноструктур в матрице фотонного кристалла 113 методом MOCVD их исследование
3.5.1. Оптические свойства золотых наноструктур
3.6. Изучение спазерной генерации нанокомпозитов
Основные результаты и выводы
Литература
Приложение

Температура, “С

1000/Т, К
Рис. 12. Температурные зависимости давления насыщенных паров хинолинатов
диметилзолота(Ш)
1.1.2.4.2. Термические свойства хинолинатов диметилзолота(Ш)
Термические свойства хинолинатов диметилзолота(Ш) были изучены только методом ТГА. В условия ТГ экспериментов (атмосфера гелия, скорость нагрева 10 град/мин), хинолинаты диметилзолота(Ш) переходят в паровую фазу с частичным разложением. При нагревании комплекса (СНз)2Аи(8<3), на кривой потери массы присутствует ступень, которая, по мнению авторов работы [41], свидетельствует о потере двух СНз групп.
Сравнительно недавно была опубликована работа, где в качестве прекурсора для осаждения золотых покрытий рассматривался комплекс диметилзолота(Ш) с диэтилдитиокарбаматом [42]:
1.1.2.5. Диэтилдитиокарбамат диметилзолота(Ш)