Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева

• Автор: Невшупа, Роман Александрович
• Шифр специальности: 05.27.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 209 с. : ил.

ОГЛАВЛЕНИЕ

ВВЕДЕНИЕ
1. АНАЛИЗ ПРОБЛЕМ И ЗАДАЧ ПОВЫШЕНИЯ НАДЕЖНОСТИ ВАКУУМНОГО ПРИВОДА
1.1. АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ НАДЕЖНОСТИ НА ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ ВАКУУМНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ
1.2. АНАЛИЗ ПРОТИВОРЕЧИЙ МЕЖДУ ТРЕБОВАНИЯМИ, ПРЕДЪЯВЛЯЕМЫМИ К НАДЕЖНОСТИ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ И ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ НАДЕЖНОСТИ ВАКУУМНОГО ПРИВОДА
1.2.1. Анализ требований к механизмам, работающим в вакууме
1.2.2. Типовые вакуумные механизмы и элементы
1.2.3. Анализ противоречий между требованиями, предъявляемыми к вакуумному приводу
ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ
2. АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ОБЕЗГАЖИВАЮЩЕГО ПРОГРЕВА НА ДЕФОРМАЦИЮ ДЕТАЛЕЙ ВАКУУМНОГО ПРИВОДА
2.1. ОСОБЫЕ ТРЕБОВАНИЯ К КОНСТРУКЦИОННЫМ МАТЕРИАЛАМ И РЕЖИМАМ ЭКСПЛУАТАЦИИ ВАКУУМНОГО ПРИВОДА КАК ПРЕДПОСЫЛКИ ПОЛЗУЧЕСТИ ДЕТАЛЕЙ ВАКУУМНЫХ МЕХАНИЗМОВ
2.2. ОСНОВНЫЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПРОЦЕССОВ ПОЛЗУЧЕСТИ И РЕЛАКСАЦИИ НАПРЯЖЕНИЙ МЕТАЛЛОВ

2.3. АНАЛИЗ ПАРАМЕТРОВ, ХАРАКТЕРИЗУЮЩИХ НЕУСТАНОВИВШУЮСЯ СТАДИЮ ПОЛЗУЧЕСТИ
ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ
3. ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПОКАЗАТЕЛЕЙ НАДЕЖНОСТИ СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ С УЧЕТОМ ПРОГРЕВА
3.1. АНАЛИЗ ЗАВИСИМОСТИ ПОКАЗАТЕЛЕЙ НАДЕЖНОСТИ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ ОТ ПАРАМЕТРОВ ПРИВОДА
3.2. ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ НАДЕЖНОСТИ СВВ ОБОРУДОВАНИЯ
3.3. РАЗРАБОТКА ВЕРОЯТНОСТНОЙ МОДЕЛИ ФОРМИРОВАНИЯ ВЫХОДНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПРИВОДА НА ПРИМЕРЕ ГЕРМЕТИЧНОЙ ПЛАНЕТАРНОЙ ПЕРЕДАЧИ
3.3.1 .Анализ факторов, формирующих выходные параметры привода
3.3.2. Модель возникновения деформаций деталей привода при прогреве

3.3.3. Вероятностная модель формирования действительной погрешности взаимного положения элементов герметичной планетарной передачи с учетом прогрева
3.3.4. Вероятностная модель формирования собственного момента сопротивления вращению с учетом прогрева
3.3.5. Вероятностная модель формирования кинематической погрешности и погрешности мертвого хода ГПП с учетом прогрева

3.3.6. Вероятностная модель формирования потока газовыделения при работе ГПП с учетом прогрева
ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ
4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПРОГРЕВА НА РАБОТОСПОСОБНОСТЬ ВАКУУМНОГО ПРИВОДА
4.1. ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕФОРМАЦИЙ КОРПУСНЫХ ДЕТАЛЕЙ ПРИВОДА ВСЛЕДСТВИЕ ПРОГРЕВА
4.1.1. Экспериментального стенда и методика проведения прогрева
4.1.2. Описание оборудования и методики измерения деформаций, возникших в результате прогрева
4.1.3. Результаты исследования деформаций моделей корпусных деталей, возникающих при обезгаживающем прогреве
4.2. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ДЕФОРМАЦИЙ НА ФОРМИРОВАНИЕ ВЫХОДНЫХ ПАРАМЕТРОВ ГПП
4.2.1. Экспериментальная установка и методика исследования
4.2.2. Результаты экспериментов
4.3. ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЛНОВЫХ ОБОЛОЧЕК
4.3.1 .Исследование деформации волновых оболочек при прогреве
4.3.2. Исследование изменения собственного момента сопротивления вращению волновой передачи под влиянием прогрева
ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ
5. МЕТОДИКА РАСЧЕТА ПАРАМЕТРОВ ЗУБЧАТЫХ ВВОДОВ
ь ВРАЩЕНИЯ С УЧЕТОМ ПРОГРЕВА

На основании приведенных данных были составлены обобщенные предельные требования, предъявляемые вакуумным оборудованием к механизмам привода (Таблица 9).
1.2.2. Типовые вакуумные механизмы и элементы
Из перечисленных в разделе 1.2.1 технологических процессов, реализуемых в вакууме, только некоторые процессы, такие как, поверхностный анализ и рентге-нолитография требуют от обрабатываемого образца 5-6 степеней подвижности. В большинстве случаев достаточно использование одной или двух степеней подвижности: вращения и поступательного перемещения. С целью уменьшения негативного влияния механизмов на остаточную среду и повышения их надежности, функции внутрикамерных механизмов, таких как транспортёры, манипуляторы, каретки и т.п., выполняют вводы движения в вакуум, сочетающие в одном устройстве функции передаточных звеньев, герметизаторов и внутрикамерных механизмов.
Вводы вращения. Наиболее распространенными видами вводов вращения являются вводы на базе манжетных уплотнений для высоковакуумного использования (до 10° Па) /98/, /117/ и вводы на базе сильфонной муфты с эксцентриковым или изогнутым валом. /93/, /94/, /100/, /101/, /116/, /102/ для сверхвысокого вакуума.
Значительным превосходством по точности и степени газовыделения по сравнению с этими вводами обладает герметичная волновая передача, представляющая из себя волновой редуктор /90/, /96/ с большим передаточным отношением 1=80-300 в одной ступени. На рис. 5 показана принципиальная схема и общий вид герметичного волнового ввода вращения ВВВ-100-40-72, обеспечивающего высокие передаточные отношения и точность. Достоинства ввода - большая редукция в