Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
- Автор:
Балашов, Владимир Николаевич
- Шифр специальности:
05.27.07
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
299 с.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального | Коган, Иосиф Леонидович | 1999 |
| Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц | Угольников, Сергей Викторович | 1998 |
| Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники | Кеменов, Владимир Николаевич | 2000 |