Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
- Автор:
Балашов, Владимир Николаевич
- Шифр специальности:
05.27.07
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
299 с.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева | Невшупа, Роман Александрович | 1999 |
| Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок : Применительно к сборке ИС в полимерные корпуса | Тыщишин, Василий Васильевич | 1999 |
| Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования | Михальцов, Евгений Петрович | 1998 |