Кремнийорганические производные 1,1-диметилгидразина

• Автор: Фомина, Анна Никоновна
• Шифр специальности: 02.00.08
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2002
• Место защиты: Иркутск
• Количество страниц: 87 с. : ил

Оглавление

Введение
Глава 1. Кремнийорганические производные 1,1-диметил-
гидразина (Обзор литературы)
1.1. Моносилильные производные 1,1 -диметил-
гидразина
1.1.1. Синтез моносилильных производных
1,1-диметилгидразина
1.1.1.1. Реакция гидразинолиза
1.1.1.2. Реакция гидразинирования
1.1.1.3. Реакция дегидроконденсации
1.1.1.4. Металлоорганический синтез
1.1.2. Реакционная способность моносилильных
производных 1,1-диметилгидразина
1.1.2.1. Реакции, протекающие с разрывом связи
кремний-азот
1.1.2.2. Реакции, протекающие с сохранением связи
кремний-азот
1.2. Дисилильные производные 1,1-диметилгидразина
1.2.1. Синтез дисилильных производных
1.1 -диметилгидразина
1.2.2. Реакции дисилильных производных
1.1 -диметилгидразина
1.3. Области практического применения кремний

Глава 2. Синтез и реакционная способность кремнийоргани-
ческих производных 1,1 -диметилгидразина (Обсуждение результатов)
2.1. Синтез моносилильных производных
1,1 -диметилгидразина (ДМГ)
2.1.1. Реакции ДМГ с органилхлорсиланами
2.1.2. Реакция ДМГ с триэтоксисиланом
2.1.3. Реакция ДМГ с триметилацетоксисиланом
2.2. Реакции кремнийорганических производных ДМГ
2.2.1. Реакция гидросилилирования
2.2.2. Метанолиз кремнийорганических
производных ДМГ
2.2.3. Реакция триметил(2,2-диметилгидразино)-
силана с акриловой кислотой
2.2.4. Реакция кремнийорганических производных ДМГ
с метилиодидом
2.2.5. Взаимодействие триметил(2,2-диметилгидразино)-
силана с бромсиланами
2.2.6. Взаимодействие 1,1-диметил-2,2-бис(триметил-
силил)гидразина с СН-кислотами
2.3. Изучение тонких слоев карбонитрида кремния,
полученных из кремнийорганических производных ДМГ с использованием метода удаленной плазмы 44 Глава 3. Разработка технологических прог^ессов плазмо-
химического осаждения тонкопленочных структур с использованием кремнийорганических
производных 1,1-диметилгидразина
3.1. Тонкослойные покрытия диоксида кремния
3.2. Тонкослойные покрытия нитрида кремния
3.3. Тонкослойные покрытия легированного

фосфором диоксида кремния
Глава 4. Экспериментальная часть
4.1. Приборы, оборудование и подготовка исходных
материалов
4.2. Синтез моносилильных производных
1.1 -диметилгидразина
4.2.1. Реакции ДМГ с органилхлорсиланами
4.2.2. Реакция ДМГ с триэтоксисиланом
4.2.3. Реакция ДМГ с триметилацетоксисиланом
4.3. Реакции моносилильных производных
1.1 -диметилгидразина
4.3.1. Реакция гидросилилирования
4.3.2. Метанолиз кремнийорганических
производных ДМГ
4.3.3. Реакция триметил(2,2-диметилгидразино)-
силана с акриловой кислотой
4.3.4. Взаимодействие кремнийорганических
производных ДМГ с метилиодидом
4.3.5. Взаимодействие триметил(2,2-диметил-
гидразино)силана с бромсиланами
4.3.6. Взаимодействие 1,1-диметил-2,2-бис(триметил-
силил)гидразина с СН-кислотами
4.4. Условия газо-фазного химического осаждения в режиме удаленной плазмы ВЧ-разряда
4.5. Условия технологических процессов осаждения пленок диоксида кремния, легированного фосфором диоксида кремния и нитрида кремния
Выводы
Список литературы

взаимодействие группировок БГОН с БпОЕ! и гидролитическая поликонденсация последних приводит к образованию полисилоксановых структур.
2.1.3. Реакция ДМГ с триметилацетоксисиланом
С целью поиска других путей получения триметил(2,2-диметилгидразино)силана (I), нами была осуществлена реакция ДМГ с триметилацетоксисиланом. Она проводилась при различном соотношении реагентов. Во всех случаях выход (I) оказался незначительным. Наряду с ним образовывались ацетат ДМГ и гексаметилдисилоксан. Основными продуктами реакции были моно- и диацетильные производные ДМГ (X), (XI).
Ме2ШН2 + Ме38ЮСОМе — (Ме2ШН)з-п(СОМе)п + Ме38ЮН (10)
(Х),(Х1)
п = 1 (X), 2 (XI)
Образование побочных продуктов реакции (гексаметилдисилоксан, уксусная кислота) отражается уравнениями (11) и (12)
2 МезЭЮН — Ме38Ю81Ме3 + Н20 (11)
Ме38ЮОСМе + Н20 — МезБЮН + СН3СООН (12)
Неожиданно при избытке триметилацетоксилана преимущественно образуется моноацетилыюе производное, существующее в двух формах СН3СОМНММе2 <-> СТЬС(ОН)=ЫНМе2 (Х-а), (Х-б), а при избытке ДМГ -диацетилыюе. Это вызвано тем, что выделяющаяся в ходе реакции уксусная кислота препятствует вхождению в молекулу ДМГ второй ацетильной группы. Этого не происходит при избытке ДМГ, связывающего уксусную кислоту.