Исследование субструктурных и ориентационных изменений при термообработке пленок силицидов Pt и Pb

• Автор: Балашова, Вероника Юрьевна
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Воронеж
• Количество страниц: 121 с.

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ПЛЕНКИ СИЛИЦИДОВ МЕТАЛЛОВ НА КРЕМНИИ: МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ, ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, СТРУКТУРА (обзор литературы)
1.1. Методы получения пленок силицидов
1.2. Фазовый состав пленок силицидов металлов
1.2.1. Равновесная диаграмма состояния системы Рі-Бі
1.2.2. Равновесная диаграмма состояния системы Р6-8І
1.2.3. Кинетика роста и особенности механизмов формирования силицидов металлов
1.2.4. Фазообразование в системе РТБі
1.2.5. Фазообразование в системе РсГБі
1.2.6. Зависимость фазового состава пленок силицидов платины и палладия от наличия различных газов в рабочей атмосфере
1.3. Зависимость структуры, субструктуры и ориентации пленок силицидов платины и палладия от типа кристаллической решетки силицида, от ориентации поверхности Бі
1.3.1. Кристаллическая структура, микроструктура Рг8і и ориентационные соотношения между силицидом платины и подложкой 8і
1.3.2. Кристаллическая структура, микроструктура Рё281 и ориентационные соотношения между силицидом палладия и подложкой 8і
1.4. Структура межфазной границы в системах РЦЯі и РсІ-Бі
1.4.1. Структура межфазной границы в системе РС8і
1.4.2. Структура межфазной границы в системе Рб-Бі
1.5. Процессы структурного и субструктурного старения пленок силицидов
Выводы и постановка задач
ГЛАВА 2. СИНТЕЗ ПЛЕНОК СИЛИЦИДОВ Р1 И РФ МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЯ ФАЗОВОГО И ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА, СТРУКТУРЫ И
СУБСТРУКТУРЫ ПЛЕНОК
2 Л. Синтез пленок силицидов Р1: и Рб
2 Л Л. Методика подготовки образцов для изучения процессов
рекристаллизации в пленках Р181 и Рб281
2Л .2. Методика подготовки образцов для изучения структуры МГ (111)8Ш81 и (111)81-Рб281
2.2. Методика подготовки образцов для электронно-микроскопических исследований
2.3. Анализ фазового состава, структуры и ориентации пленок силицидов Рг и Рб
ГЛАВА 3. ВЛИЯНИЕ ТЕРМООБРАБОТКИ НА ОРИЕНТАЦИЮ И СУБСТРУКТУРУ ПЛЕНОК Р1Б1 И Рб281
3.1. Ориентационные и субструктурные изменения при термообработке пленок Р1Б1
3.1.1. Ориентация и субструктура исходных пленок Р181 на (111)
3.1.2. Зависимость субструктуры и ориентации пленок Р181 от термообработки
3.2. Субструктурные изменения при термообработке пленок системы Р1 на (111) 81, сформированных методом ИФО
3.2.1. Влияние термообработки на фазовый состав, ориентацию и субструктуру пленок системы РЦ111)81
3.2.2. Анализ субструктурных изменений на основе концепции РСУ
3.3. Ориентационные и субструктурные изменения при термообработке пленок Рб281
3.3.1. Ориентация и субструктура исходных пленок Рб281
3.3.2. Зависимость субструктуры и ориентации пленок Рб281 от термообработки
3.4. Заключение
ГЛАВА 4. СТРУКТУРА (СУБСТРУКТУРА) МЕЖФАЗНОЙ ГРАНИЦЫ 81-

СИЛИЦИД МЕТАЛЛА
4Л. Анализ возможных ориентационных соотношений
4.2. Дислокационная структура МГ в системе (111)81-Р181
4.3. Дислокационная структура МГ в системе (111 ГРс
4.4. Заключение
ВЫВОДЫ
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

о о о о
о о о о
[100]
[101]
[001]
х(А)

I- I > 7. (А)
1 2 О У=0.0 Р1
Q у=0.5 Рг О у=0.25 8і © у=0.75 8і
Рис. 1.7. Кристаллическая структура РіБі, спроектированная на (010) плоскость /48/.
что подтверждается исследованиями методом ПЭМ.
Прямое разрешение решетки показывает высокое кристаллическое совершенство внутри зерен каждой ориентации. Граница между ними -резкая, о чем свидетельствуют муаровые полосы, стыкующиеся на границе. Промежуточные области (полости или аморфные области) у границы не наблюдаются /49/.
Изменяя температуру подложки (100) 81 во время осаждения металлической пленки К, авторы /20/ получали пленки Р181 различной ориентации. Образцы силицида получали испарением Р1 с помощью электронной пушки на подложки (100) 81 при температурах 320, 360 и 400 °С, предварительно очищенных в растворе НГ.
При температуре подложки 320 °С платина реагирует с кремнием с образованием Р128ь Последующий отжиг при 500 °С приводит к