Формирование углеродных пленок из газовой фазы

• Автор: Золотухин, Алексей Александрович
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2007
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 161 с. : ил.

Глава 1. Получение и исследование углеродных пленок (литературный обзор)

§ 1. Аллотропные формы углеродных материалов

§2.0саждение углеродных материалов из газовой фазы

2.1. Общие сведения о методах осаждения пленочных углеродных материалов из газовой фазы

2.2. Физико-химические механизмы газофазного осаждения углеродных пленок

2.3. Основные понятия физики тлеющего разряда

§3. Оптическая эмиссионная спектроскопия (ОЭС) газовой фазы в плазмохимических процессах

3.1. Принципы и особенности метода ОЭС плазмы

3.2. ОЭС для различных модификаций плазмохимического осаждения углерода

§4. Комбинационное рассеяние света (КРС) в углеродных материалах

4.1. Элементы теории КРС в кристаллах

4.2. Особенности КРС в углеродных материалах
4.2.1. КРС в алмазоподобных материалах
4.2.2. КРС в графитоподобных материалах
Глава 2. Методика эксперимента
§ 1. Экспериментальные методики для осаждения углеродных пленок и оптической диагностики процесса осаждения
1.1. Плазмохимическое осаждение углеродных пленок
1.2. Оптическая эмиссионная спектроскопия газоразрядной плазмы 56 §2. Методы диагностики фазового состава и морфологических особенностей углеродных пленок
2.1. Комбинационное рассеяние света

2.2. Структурно-морфологические исследования
поверхности
2.3. Автоэлектронная микроскопия
Глава 3. Изучение процессов формирования углеродных материалов из газовой фазы
§1. Влияние электрических параметров разряда на формирование
углеродных пленок
§2. Влияние материала подложек и их предварительной обработки
на процесс формирования углеродных пленок
§3. Изучение оптических эмиссионных спектров газоразрядной плазмы
3.1. Описание эмиссионных спектров и пространственное распределение углеродсодержащих компонентов в плазме разряда
3.2. Влияние примеси азота на морфологию и структурные характеристики углеродных пленок
§4. Влияние электрических поля на формирование углеродных пленок
4.1. Экспериментальное наблюдение влияния электрического поля
на рост углеродных пленок
4.2. Гидродинамическая модель плазмы и оценка величины электрического поля у поверхности подложки
§5. Механизм формирования наноуглеродных материалов из газовой фазы
5.1. Структурно-морфологические особенности и фазовый состав наноуглеродных пленок
5.2. Механизм формирования наноуглеродных пленок
§6. Механизм формирования высокоупорядоченных графитных
пленок
6.1. Получение и структурно-морфологические особенности высокоупорядоченных графитных пленок

6.2. Механизм формирования высокоупорядоченных графитных
пленок
Глава 4. Свойства тонкопленочных наноуглеродных материалов
§ 1. Автоэлектронная эмиссия из наноуглеродных пленок
§2. Аномальное комбинационное рассеяние света в графитных
плёнках
Заключение
Список публикаций и докладов по результатам, представленным в
работе
Список литературы

нанокристаллических пленках, является эффект пространственного ограничения фононов, хотя некоторый вклад в трансформирование спектров может вносить и неоднородность механических напряжений [51,52].
4.2.2. КРС в графитоподобных материалах
Аналогичные описанным выше закономерности изменений формы и спектрального положения линии КРС имеют место и для графитоподобного углерода. Типичный для такого материала спектр приведен на рисунке 1.21.
Смещение, см’1
Рис. 1.21. Спектр КРС графитоподобного углерода.
Характерная для идеальной структуры графита линия КРС расположена на частоте 1580 см'1. Особенностью КРС в поликристаллическом графите является появление дополнительных, по отношению к монокристаллу, пиков в области 1350 и 1620 см'1, интенсивности которых коррелируют с характерным размером кристаллитов [50]. В частности, интенсивность сигнала на частоте 1350 см'1 достигает значений интенсивности основной линии 1580 см'1, если характерный размер составляющих кристаллитов графита имеет величину около 3 нм. При значительном структурном