Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники
- Автор:
Кеменов, Владимир Николаевич
- Шифр специальности:
05.27.07
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
2000
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
374 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники», автор — Кеменов, Владимир Николаевич, относится к типу: докторская диссертация по специальности 05.27.07. Работа подготовлена в городе Москва в 2000 году. Объем работы: 374 с. : ил.. Внутренний код товара: 01000270007. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии | Балашов, Владимир Николаевич | 1998 |
| Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве | Ковалев, Анатолий Андреевич | 2000 |
| Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования | Пересадько, Андрей Григорьевич | 2000 |