Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства

• Автор: Хаханин, Сергей Юрьевич
• Шифр специальности: 05.27.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 225 с. : ил.

Классификация методов и средств контроля неорганических загрязнений реагентов. Основные технические характеристики электрохимических методов и электроаналнтического оборудования для контроля высокочистых реагентов. Оборудование для контроля органических загрязнений реагентов рекуперации безотходных технохимических процессов. Оборудование для контроля компонентного состава реагентов в безотходных технохимических процессах. Выводы к гл. КОНТРОЛЯ ПАРАМЕ1РОВ РЕКУПЕРАЦИИ РЕАГЕНТОВ. Теория аналитического сигнала в методе контроля параметров рекуперации методе инверсионной вольтамперомсзрии. Основные принципы создания безотходных производств и требования к ним. Выводы кгл. ГЛАВА 1. КОНТРОЛЯ РЕАГЕНТОВ ПЛАНАРНОГО МИКРОЭЛЕКТРОННОГО ПРОИЗВОДСТВА ИЭТ В настоящее время в электронной промышленности прослеживается устойчивая тенденция к возрастанию требований к уровню технологических процессов производства ИЭТ, их эксплуатационным характеристикам. ИЭТ более трудоемкости операций, применяемых в технологии изготовления, ряд важных вопросов, связанных с контролем чистоты реактивов, их регенерацией для повторного использования и, тем более, контролем процессов рекуперации, оставался недостаточно изученным.


Оборудование для контроля компонентного состава реагентов в безотходных технохимических процессах. Выводы к гл. КОНТРОЛЯ ПАРАМЕ1РОВ РЕКУПЕРАЦИИ РЕАГЕНТОВ. Теория аналитического сигнала в методе контроля параметров рекуперации методе инверсионной вольтамперомсзрии. Основные принципы создания безотходных производств и требования к ним. Выводы кгл. ГЛАВА 1. КОНТРОЛЯ РЕАГЕНТОВ ПЛАНАРНОГО МИКРОЭЛЕКТРОННОГО ПРОИЗВОДСТВА ИЭТ В настоящее время в электронной промышленности прослеживается устойчивая тенденция к возрастанию требований к уровню технологических процессов производства ИЭТ, их эксплуатационным характеристикам. ИЭТ более трудоемкости операций, применяемых в технологии изготовления, ряд важных вопросов, связанных с контролем чистоты реактивов, их регенерацией для повторного использования и, тем более, контролем процессов рекуперации, оставался недостаточно изученным. Это было во многом обусловлено тем, что предприятия отрасли не располагают современными высокочувствительными методами контроля чистоты реагентов. В связи с этим, весьма актуальными и целесообразными являются исследования, направленные на разработку и создание аналитического оборудования, обеспечивающего как экспрессный контроль систем регенерирования отработанных растворов, так и входной высокочувствительный контроль реагентов, используемых в планарном микроэлектронном производстве ИЭТ. Классификация методов и средств контроля процессов рекуперации безотходных технохимичсских процессов представлена на рис. Рис.