Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства
- Автор:
Хаханин, Сергей Юрьевич
- Шифр специальности:
05.27.07
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2000
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
225 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства», автор — Хаханин, Сергей Юрьевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.07. Работа подготовлена в городе Москва в 2000 году. Объем работы: 225 с. : ил.. Внутренний код товара: 01000293256. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования | Пересадько, Андрей Григорьевич | 2000 |
| Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий | Васин, Владимир Анатольевич | 2000 |
| Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения | Василенко, Николай Васильевич | 1999 |