Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства
- Автор:
Хаханин, Сергей Юрьевич
- Шифр специальности:
05.27.07
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2000
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
225 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства», автор — Хаханин, Сергей Юрьевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.07. Работа подготовлена в городе Москва в 2000 году. Объем работы: 225 с. : ил.. Внутренний код товара: 01000293256. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования | Михальцов, Евгений Петрович | 1998 |
| Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники | Кеменов, Владимир Николаевич | 2000 |
| Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования | Пересадько, Андрей Григорьевич | 2000 |