Микропрофилирование композиции "SiC-AlN" методом реактивного ионно-плазменного травления
- Автор:
Лютецкая, Ирина Геннадиевна
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1999
- Место защиты:
Санкт-Петербург
- Количество страниц:
147 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Микропрофилирование композиции "SiC-AlN" методом реактивного ионно-плазменного травления», автор — Лютецкая, Ирина Геннадиевна, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.06. Работа подготовлена в городе Санкт-Петербург в 1999 году. Объем работы: 147 с. : ил.. Внутренний код товара: 01000233703. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Оптимизация процесса МОС-гидридной эпитаксии слоев GaAs, AlxGa1-xAs и InxGa1-xAs на основе математической модели | Косарев, Артем Михайлович | 2004 |
| Процессы обработки затравок для выращивания совершенных объемных монокристаллов полупроводникового карбида кремния методом ЛЭТИ | Сысоев, Андрей Александрович | 2001 |
| Технология создания радиационно-окрашенных лазерных кристаллов LiF с агрегированными центрами окраски | Конюшкин, Василий Андреевич | 2005 |