Технология структур "карбид кремния - кремний" для приборов микроэлектроники и микросистемной техники
- Автор:
Матузов, Антон Викторович
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2008
- Место защиты:
Санкт-Петербург
- Количество страниц:
113 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Технология структур "карбид кремния - кремний" для приборов микроэлектроники и микросистемной техники», автор — Матузов, Антон Викторович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.06. Работа подготовлена в городе Санкт-Петербург в 2008 году. Объем работы: 113 с. : ил.. Внутренний код товара: 01004159475. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты | Чеботарев, Сергей Николаевич | 2007 |
| Технологии получения функциональных материалов с участием сегнетоэлектриков, релаксоров и мультиферроиков, электрофизические свойства и механоактивационные явления в них | Миллер, Александр Иванович | 2015 |
| Разработка и исследование лучистых нагревательных устройств для вакуумно-термического оборудования | Бычков, Сергей Павлович | 2019 |