Процессы формирования наноструктур на основе пористых анодных оксидов металлов

• Автор: Белов, Алексей Николаевич
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2011
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 277 с. : ил.

1.7 Цель и задачи диссертационной работы

Особенности самоорганизации пористого оксида алюминия

Разработка реактора для проведения процессов формирования пористых оксидов

металлов с непрерывным во времени контролем характеристик электрохимического

процесса

Исследование кинетики процесса формирования пористого анодного оксида алюминия

в гальваностатическом и потенциостатическом режимах

Методика формирования пористого анодного оксида алюминия, учитывающая

взаимосвязь технологических параметров процесса

Исследование влияния факторов процесса анодного окисления алюминия на степень

упорядоченности структур пористого анодного оксида

алюминия
Выводы
Особенности самоорганизации пористых оксидов тугоплавких металлов
Исследование закономерностей метода формирования пористого анодного оксида
титана
Разработка метода формирования высокоупорядоченного пористого оксида титана на
основе многостадийного электрохимического окисления 6
Исследование закономерностей метода формирования пористых анодных
оксидов ниобия и вольфрама
Исследование зависимости геометрических параметров пористых анодных оксидов
титана, ниобия и вольфрама от условий их формирования 2
Исследование закономерностей метода формирования наноструктурированного оксида
титана методом анодного окисления двухслойных структур алюминийтитан 7
Выводы
Исследование механизма порообразования при анодном окислении
металлов
Критический анализ моделей зарождения и роста пористых оксидов
Комплексный анализ кинетики протекания электрохимической реакции анодного
окисления алюминия 3
Физикохимическое моделирование процессов самоорганизации пористых
металлоксидных наноструктур 9
Выводы
Разработка методов формирования металлических и полупроводниковых
ианокристаллов и нанопрофилирование поверхности полупроводников с
использованием пористых оксидов металлов 2
Разработка импульсного катодного осаждения металлических
нанокристаллов в матрицу пористого анодного оксида алюминия
Разработка метода преобразования массивов металлических
нанокристаллов в халькогениды. Особенности конструктивного исполнения
диффузионной печи для сульфидизации и селенизации встроенных в нанопористые
матрицы металлических нанокристаллов 3
Исследование термодинамических, магнитных и оптических свойств металлических
нанокристаллов в матрице пористого анодного оксида алюминия 7
Исследование и разработка метода нанопрофилирования поверхности кремния
плазменным травлением с использованием твердой маски пористого оксида
алюминия 4
Выводы
Практическое применение разработанных процессов формирования
пористых оксидов металлов и наноструктур на их основе
Рекомендации по практическому использованию пористых оксидов металлов и
массивов металлических нанокристаллов, встроенных в матрицу пористого анодного
оксида металла 1
Разработка чувствительных элементов датчиков влажности на основе пористого
оксида алюминия 4
Тонкопленочные гетероструктурные фотоэлектрические преобразователи с базовым
слоем на основе оксида титана 9
Разработка калибровочных структур для оценки качества кантилеверов сканирующей
зондовой микроскопии на основе алюминия с
наноструктурированной поверхностью
Выводы
Основные результаты и выводы
Список использованных источников


Актуальность. Цель работы и задачи. Научная новизна. Практическая значимость работы. ООО НПП НаноИнТех, г. Москва. Б.Н. Ельцина ОАО НИИМЭ и завод Микрон, г. Москва. ОКР ЮтаГМР КМ. Университет прикладных наук, г. Аргау, Швейцария iii . Англия Университет г. Пенн, США Наночип, США i . Университет г. Хьюстон, США Гарвардский университет, США Университет г. США I, Корея. Апробация работы. Ломоносов, г. Микроэлектроника и информатика, гг. Международная конференция Микро и наноэлектроника, , гг. Наноструктурированныс оксидные пленки и покрытия, г. Нанотехнологии, . ВАК РФ, и 5 патентов на изобретение. Структура и объем диссертации. Пористые наноструктуры и области их применения. Нанотехнология очень широкая, не имеющая четких границ область. Нанокристаллические материалы широко встречаются в природе. Литографические методы

Рисунок 1. Принципы создания наноструктур. Таблица 1. Результаты сравнительного анализа пористых наноматериалов. Неупор. Неупор. Особенности процессов самоорганизации пористых металл оксидных наноструктур. Структура пористых слоев анодных оксидов металлов имеет идентичное строение. Рисунок 1. Рисунок 1. Р лБ,2, ОдЧ . Яч 2,8иА 1. Ос размер оксидной ячейки нм, иА анодное напряжение В. Рисунок 1. Диаметр пор зависит от режимов анодирования болсс сложным образом. Г0,Тв 1. Га 1. Таблица 1. Связь геометрических параметров оксида с режимами формирования. Физикохимические основы процесса анодного окисления металлов. М ЬН МаОь 2ЬН 2Ье 1. Структура и свойства получаемых в результате протекания реакции 1. Юнга , И. Н. Францевича . ОНГ превалирует в переносе кислорода в анодном процессе. Уравнение 1. ЗН2 6Н4 6е. Фарадея. I ох
1. Фарадея. Ро Ур. Зп можно пренебречь. I плотность тока анодирования.