Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления
- Автор:
Пинаев, Вячеслав Владимирович
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2011
- Место защиты:
Санкт-Петербург
- Количество страниц:
143 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления», автор — Пинаев, Вячеслав Владимирович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.06. Работа подготовлена в городе Санкт-Петербург в 2011 году. Объем работы: 143 с. : ил.. Внутренний код товара: 01005390062. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем | Серегин, Дмитрий Сергеевич | 2011 |
| Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках | Панфилов, Игорь Владимирович | 2002 |
| Технология создания плоских микромодулей для приборов бесконтактной идентификации | Балабанов, Владимир Тарасович | 2008 |