Разработка и применение методов моделирования в технологиях выращивания монокристаллов из расплава

• Автор: Простомолотов, Анатолий Иванович
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2004
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 362 с. : ил.

ГЛАВА 1. Математическое моделирование конвективного тепломассопереноса в расплаве. Двумерная осесимметричная модель конвекции в расплаве. Методы конечных разностей и конечных элементов. Трехмерная модель конвекции в расплаве. Метод контрольных. Параметрическая зависимость решения гидродинамической. Физическое моделирование конвективного теплопереноса в расплаве. Радиационнокондуктивное приближение. Математические модели индукционного нагрева тигля и действия постоянного магнитного поля. Заключение к главе 1. ГЛАВА 2. Конвективный тепломассоперенос в расплаве кремния при выращивании методом Чохральского . Структуры течения расплава и их тесты при действии МП. Анализ конвективной неустойчивости течения расплава при выращивании кристаллов кремния диаметром 0 мм. Анализ тепломассопереноса для технологических процессов с воздействием МП. Особенности воздействия ВМП на течение и тепломассообмен в расплаве при выращивании кристаллов кремния диаметром 0 мм. ГЛАВА 3. Сопряженные задачи теплопереноса при выращивании кристаллов кремния на промышленных установках.


При откачке постоянство уровня поддерживается заданной скоростью подъема тигля при соответствующей величине расхода жидкости. Модель тигля представляет собой разборный цилиндрический сосуд из оргстекла с двойными стенками, между которыми может прокачиваться термостатирующая жидкость. Прокачка осуществляется снизу через каналы нижнего штока таким образом, что при превышении объема заполнения мехщу стенками жидкость стекает сверху вниз по специальным трубчатым желобкам в предназначенный для слива канал в нижнем штоке. Замкнутый цикл термостатирования предполагает включение в рабочую цепочку мехаду подачей и сливом жидкости термостата типа ив. Внутренний радиус тигля равен Яс. Выполнение заданного режима работы кинематических и тепловых элементов осуществляется в режиме автоматического контроля. В Таб. Водоглицериновые смеси содержат 0, , , 0 вес. Исследование структуры течения в модельной жидкости выполняется путем наблюдения за движением частиц алюминиевой пудры в вертикальном сечении прозрачного тигля, а также на поверхности жидкости. Размеры частиц порядка мкм. Для наблюдения и съемки течения используется плоский пучок света, создаваемый диапроектором Киев со щелевой диафрагмой шириной 1 мм. Визуальное наблюдение за структурой течения производится с использованием катетометра В0, шкала которого позволяет измерять расстояния с точностью мкм. Фото и видеорегистрация картин течения выполняется с помощью фотокамеры Зенит и видеокамеры. Фотоаппарат устанавливался на координатном устройстве, имеющем две степени свободы.