Управление ростом кристаллов арсенидов галлия и индия путем низкоэнергетических воздействий

• Автор: Косушкин, Виктор Григорьевич
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Калуга
• Количество страниц: 332 с. : ил.

Глава I. Низкоэнергетические воздействия и формирование неоднородностей при выращивании монокристаллов полупроводников направленной кристаллизацией анализ литературы. Возможности и механизмы управления ростом кристаллов. Исходные уравнения для математического описания процессов а кристаллизации. Подходы к решению и упрощения гидродинамической задачи. Подходы к решению и упрощения гидродинамической задачи. Моделирование как средство изучения влияния конвекции на 2. Моделирование и решение задач оптимального управления. Проблема идентификации. Критерии идентификации. Классификация объектов, задач и методов идентификации. Требования, предъявляемые к методам идентификации. Подходы к решению задачи идентификации. Условия роста и формирование неоднородностей монокристаллов. Продольные неоднородности. Поперечная сегрегация примесей. Способы уменьшения продольных неоднородностей. Микронеоднородности монокристаллов. Механизмы формирования микродефектов. Результаты расчетов нестационарной конвекции.


Теоретические исследования в этом направлении только начинаются, поэтому, обычно, используют
результаты экспериментальных исследований. Экспериментальные результаты в настоящее время являются критерием истины для анализа сложных трехмерных моделей, позволяя, наряду с тестовыми задачами, верифицировать результаты расчетов. В последние годы для решения задач управления формированием неоднородностей в поперечном сечении монокристаллов наряду с экспериментальными исследованиями обычно используют иерархию моделей , что позволяет упростить решение конкретных задач выбора условий кристаллизации. Удобным способом исследования структуры конвективных течений является непосредственное визуальное наблюдение потоков на специальных установках с помощью светового ножа для жидкостей с малым числом Прандтля Рг 2, или термопар, вводимых непосредственно в расплав. Обзор работ этого направления опубликован в . В качество практической рекомендации с целью уменьшения гравитационной конвекции предложено определенным образом выбирать подходящие тепловые граничные условия и размеры систем для выращивания монокристаллов. Обеспечить равенство эффективного коэффициента распределения единице. Управлять величиной эффективного коэффициента распределения так, чтобы обеспечить его постоянство в пределах фронта кристаллизации. Способы уменьшении продольных неоднородностей. В соответствии с теорией Бартока Прима лихтера обеспечить коэффициент распределения, близкий к единице, можно за счет увеличения скорости кристаллизации, т е.