Голографическая диагностика газофазных процессов микроэлектроники

• Автор: Антоненко, Константин Иванович
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 143 с.

1.1. Диагностика газовой фазы в осесимметричных фазовых объектахЮ

1.2. Голографическая диагностика низкотемпературной динамической плазмы

1.2.1. Двух дли н новол новая интерферометрия плазмы

1.2.2. Чувствительность интерференционных измерений

Заключение

Глава 2. Аппаратура и методики голографической диагностики газовой фазы

2.1. Состав голографического измерительного комплекса

2.2. Оптические схемы для голографической диагностики

2.3. Методика двухэкспозиционной голографической интерферометрии

2.4. Методика голографической интерферометрии в

реальном времени

Заключение
Глава 3. Экспериментальные исследования газовой фазы в осесимметричных реакторах с резистивным нагревом для эпитаксии арсенида галлия из МОС
3.1. Конструкция и газодинамические параметры реактора
3.2. Исследование газодинамики и температурных полей
Заключение
Глава 4. Экспериментальные исследования газовой фазы в
однопозиционных осесимметричных реакторах с быстрым термическим воздействием
4.1. Специфика диагностики быстрых термических процессов б
4.1.1. Взаимодействие ИКизлучения с подложкой
4.1.2. Методы измерения температуры подложки
4.2. Конструкция и газодинамические параметры реактора
4.3. Исследования температурных полей подложки
4.4. Исследования газодинамики и температурных полей в газовой фазе
4.5. Исследования переходных процессов в газовой фазе
4.6. Оптимизация газодинамических условий в
однопозиционном осесимметричном ЯТСУ реакторе
Заключение
Глава 5. Экспериментальные исследования низкотемпературной
динамической плазмы
5.1. Особенности диагностики динамической плазмы
5.2. Конструкция дугового струйного плазмотрона
5.3. Исследования режима течения и состава динамической
плазм ел
Заключение
Выводы
Приложение 1
Приложение 2
Список литературы


Глава 1. Глава 2. Глава 3. Заключение
Глава 4. Глава 5. Список литературы
0
Для радиальносимметричного фазовою объекта, к которым можно отнести исследуемые реакторы, показатель преломления зависит от радиуса. На рис. Пусть ось перпендикулярна направлению распространения световых лучей, ось X направлена вверх. Выражение 1. Г 1. Тогда определение величины x, сводится к решению отдельной задачи для каждого поперечною сечения х . Поэтому, опуская зависимость от х, перепишем 1. Для удобства обозначим экспериментальную функцию через ср, а искомую через . Тогда уравнение 1. Правая часть выражения 1. Абеля функции Цг . Интерфсрограмма радиальносимметричного фазового объекта даст таким образом контуры постоянных значений преобразования Абеля функций пг . В результате инверсии 1. Интеграл в правой части этого уравнения может быть вычислен по фафику смещения полос 8у. С этой целью область возмущения разбивается на зоны постоянной ширины
0 Го П Г2. Г,. Полагая количество зон достаточно большим, можно считать, что функция г нс будет существенно изменяться, то есть п является постоянным. Задача теперь заключается в определении дискретных значений функции 1г по известным значениям, полученным из эксперимента. Тогда 1.