Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления
- Автор:
Сергиенко, Андрей Алексеевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2006
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
144 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления», автор — Сергиенко, Андрей Алексеевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.06. Работа подготовлена в городе Москва в 2006 году. Объем работы: 144 с. : ил.. Внутренний код товара: 01003305864. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники | Фатьянова, Галина Ивановна | 2005 |
| Технологии микропрофилирования и формирования контактных систем для микроприборов на основе нитридов III группы | Желаннов, Андрей Валерьевич | 2018 |
| Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники | Каратунов, Юрий Владимирович | 2003 |