Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур
- Автор:
Коломийцев, Алексей Сергеевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2011
- Место защиты:
Таганрог
- Количество страниц:
187 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур», автор — Коломийцев, Алексей Сергеевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Таганрог в 2011 году. Объем работы: 187 с. : ил.. Внутренний код товара: 01004986763. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование и разработка технологии создания высокопрочных мембран для преобразователей физических величин | Гусев, Евгений Эдуардович | 2019 |
| Методы получения и характеристики полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе | Корпухин, Андрей Сергеевич | 2012 |
| Технологические основы создания твердотельных сенсоров газов на основе нанокомпозитных оксидных материалов | Петров, Виктор Владимирович | 2011 |