Идентификация механизмов токопереноса структур Me-a-Si: H при автоматизированной обработке экспериментальных данных

• Автор: Вихров, Дмитрий Сергеевич
• Шифр специальности: 01.04.10, 05.13.11
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2002
• Место защиты: Рязань
• Количество страниц: 130 с. : ил

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ

1. ФИЗИЧЕСКИЕ И МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ КОНТАКТА МЕТАЛЛ АМОРФНЫЙ ГИДРОГЕНИЗИРОВАННЫЙ

КРЕМНИЙ

1.1. Актуальность применения аморфного

гидрогенизированного кремния.

.2. Влияние плотности состояний в щели подвижности на процессы формирования барьера металламорфный

гидрогенизированный кремний

1.3. Профиль потенциального барьера

1.4. Экспериментальные результаты определения высоты барьера

1.5. Механизмы переноса носителей заряда в системе МеаБЕНМс.

1.6. Обоснование применения средств вычислительной техники для обработки экспериментальных данных исследования контакта металл аморфный
гидрогенизированный кремний
ы воды
2. РАЗРАБОТКА АЛГОРИТМА ИДЕНТИФИКАЦИИ И
МАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ МЕХАНИЗМОВ
ТОКОПЕРЕНОСА МеаЫН
2.1. Анализ исходной информации механизмов переноса заряженных частиц через контакт МеаЭг. Н.
2.2. Методика идентификации механизма переноса заряженных частиц на контакте Меа8к Н.
2.3. Планирование эксперимента по идентификации механизма переноса заряженных частиц в структуре металламорфный
гидрогенизированный кремний.
3. ПРОГРАММНОЕ И АППАРАТНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ И ОБРАБОТКИ РЕЗУЛЬТАТОВ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ КОНТАКТА МеаБгН.
3.1. Пакет прикладных программ для обработки результатов экспериментальных исследований контакта МеаБкН.
3.2. Контроллер установки исследования контакта.
4. АНАЛИЗ РЕЗУЛЬТАТОВ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ ОБРАБОТКИ ВОЛЫ АМПЕРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК И ИХ ТЕМПЕРАТУРНЫХ ЗАВИСИМОСТЕЙ КОНТАКТНЫХ БАРЬЕРОВ МЕТАЛЛАМОРФНЫЙ ГИДРОГЕНИЗИРОВАННЫЙ КРЕМНИЙ МеаБЕН
4.1. Подготовка экспериментальных структур i.i.
4.2. Методика проведения эксперимента.
4.3. Результаты компьютерной обработки экспериментальных
Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕП
ЛИТЕРАТУРА


Это, в свою очередь, задает соответствующее число факторов эксперимента и определяет большой объем параметров, требуемый для оптимизации технологии пробных реализации. Многочисленные эксперименты показали, что даже при малых (в пределах погрешности эксперимента) вариациях параметров процесса осаждения, оптимизируемый параметр растущего слоя материала может претерпевать резкие изменения. Таким образом, весьма актуальной как с научной, так и с практической точки зрения является задача разработки новых подходов к описанию взаимосвязи между условиями получения и свойствами неупорядоченных полупроводников. Решение данной задачи заключается в проведении новых экспериментов, их обработки и в выявлении идентифицирующих параметров для каждого из механизмов переноса заряженных частиц в структурах на основе аморфного гидрогенизированного кремния. Для этого необходимы методики анализа результатов и математические модели механизмов токоперсноса контакта Ме-а-ЭпН. Целью диссертационной работы является идентификация доминирующих механизмов токопереноса в структурах металл - аморфный гидрогенизированный кремний при автоматизированной обработке эксперимен-тачьных данных. Подобрать аппроксимирующие функции для возможных механизмов токопереноса, позволяющие с минимальной погрешностью моделировать экспериментальные зависимости. Разработать методику идентификации механизмов токопереноса по результатам экспериментальных исследований. Разработать программное обеспечение для получения и обработки результатов экспериментальных исследований контакта Ме-а-^пН. Методы исследования. Т1,Т2,Т4 - эмиссия Шоттки; Т6,Т - эмиссия генерации - рекомбинации; Т8 - туннельная эмиссия; Т7,Т9 - ТОПЗ; ТЗ, Т5 -омическая проводимость. Достоверность. Практическая ценность работы. Создано программное и аппаратное обеспечение для автоматизированной обработки экспериментальных данных структур на основе контакта металл -аморфный гидрогенизированный кремний. Разработана библиотека объектов на языке Ое1рЫ, реализующая отображение и обработку экспериментальных данных аморфного гидрогенизированного кремния и позволяющая встраивать их в любые программы, написанные на Ое1рЫ. Создана база данных результатов статистической обработки экспериментальных данных структур на основе контактов металл -аморфный гидрогенизированный кремний, позволяющая увеличить вероятность идентификации механизмов переноса заряженных частиц контакта металл - аморфный гидрогенизированный кремний. Созданная база данных и ее дальнейшее пополнение экспериментальными результатами, полученными в различных лабораториях мира, позволят более точно определить критерии оптимальности технологического процесса. Внедрение результатов. Результаты диссертационной работы использованы на Рязанском заводе металлокерамических изделий при определении механизмов токопереноса барьерных структур на основе контакта металл - аморфный кремний путем автоматизированного анализа экспериментальных данных. Московского энергетического института (специальность ). Апробация работы. Всероссийская научно - техническая конференция “Компьютерные технологии в науке, проектировании и производстве”, г. Нижний Новгород. Проблемы передачи и обработки информации в сетях и системах телекоммуникаций”, г. Рязань. III Научно - техническая конференция “ Человек, экология, здоровье”, г. Рязань. Российская конференция молодых ученых по физическому материаловедению, г. Калуга. Публикации. По теме работы опубликовано 9 работ, из них 3 в соавторстве. В их числе: 4 статьи в межвузовских сборниках, 5 тезисов и материалов докладов Международных и Всероссийских конференций и семинаров. Пакет программ “Обработка экспериментальных данных аморфного гидрогенизированного кремния (Ме-а-8гН) (ОЕТМЕП)” зарегистрирован в Российском агентстве по патентам и товарным знакам (свидетельство о регистрации программы для ЭВМ № ). Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав и заключения и приложения. Содержит 0 страниц, таблиц, рисунка. Список литературы состоит из наименований.