Модель корпускулярного экранирования в приложении к процессу напыления

• Автор: Севастьянов, Леонид Антонович
• Шифр специальности: 01.04.02, 01.04.03
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1984
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 136 c. : ил

ГЛАВА I. ЭЛЕМЕНТОВ ПЛАНАРНОЙ ОПТИКИ. Основные выводы. ГЛАВА 2. Листовые экранирующие маски. Частные случаи основной формулы. Нестационарный корпускулярный поток и нестационарная форма маски. Неплоская нестационарная поверхность подложки. ГЛАВА 3. Концепция эффективного распределения, классификация задач
Стр. Проблема существования эффективного распределения . Макроскопические параметры эффективного распределения. Некоторые выводы. ГЛАВА 4. МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ. ГЛАВА 5. К КОНКРШЫМ ЗАДАЧАМ НАПЫЛЕНИЯ. Предсказание результатов напыления при заданных масках с использованием найденных функций установки П2
В первом параграфе на основании предварительного анализа формулируется тезис целесообразности единого подхода к рассмотрению эффектов экранирования на основании предположения о существовании эффективного распределения. Во втором параграфе рассматривается проблема существования единого эффективного распределения для класса процессов экранирования различных корпускулярных потоков.


В четвертом параграфе предложен метод решения основной обратной задачи поиска функции прозрачности маски интегральной характеристики геометрической формы маски по заданному профилю напыленного слоя и функции установки восстановленной при решении вспомогательной задачи. В пятой главе обсуждаемая математическая модель экранирования корпускулярных потоков численно исследуется в конкретных приложениях к процессам напыления. В первом параграфе по результатам напылительного эксперимента с фиксированной маской обла
дающего аксиальной симметрией решается основное уравнение записанное в каноническом виде конечно разностным методом. Решение его таблично заданная функция установки используется для
численного предсказания напылительного эксперимента с другой маской. Результат численного моделирования сравнивается с результатами реального напылительного эксперимента совпадение их с точностью выше одного процента свидетельствует в пользу состоятельности предложенной модели. Во втором параграфе аналогичное рассмотрение проводится в терминах макропараметров численное решение вспомогательной задачи получаем в виде отрезка ряда Фурье в результате численного моделирования получаются аналогичные результаты и выводы. Сравнение результатов численного моделирования с результатами напылительных экспериментов приведены в третьем параграфе. В четвертом параграфе приведен алгоритм синтеза формы экранирующей маски, необходимой для напыления линзы Люнеберга. Линза Люнеберга, напыленная через экранирующую маску, изготовленную по результатам вычисления, совпадает с идеально профилированной линзой с удовлетворительной для интегральной оптики точностью.