Получение пленок вольфрам-теллуритного стекла методом ВЧ-магнетронного распыления и исследование их оптических свойств

• Автор: Интюшин, Евгений Борисович
• Шифр специальности: 02.00.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2006
• Место защиты: Нижний Новгород
• Количество страниц: 135 с.

СОДЕРЖАНИЕ
Введение.

Глава 1. ПОЛУЧЕНИЕ, СТРУКТУРА И СВОЙСТВА СТЕКОЛ СИСТЕМЫ

0з Литературный обзор.

1.1 Стеклообразование в системах на основе Те.

1.2 Область сгеклообразования в системе ТеТОз и структура стекол

1.3 Свойства теллуритных стекол.

1.3.1 Физикохимические свойства теллуритных стекол.

1.3.2 Кинетика растворения

1.3.3 Электрические свойства

1.3.4 Оптические и парамагнитные свойства теллуритных стекол

й 1.3.4.1 ИКспектры и спектры КР теллуритных стекол и продуктов их
кристаллизации
1.3.4.2 Спектры ЭПР.
1.4 Стекла системы ТеУ, активированные редкоземельными
элементами
1.4.1 Люминесценция эрбия в теллуритном стекле
1.4.2 Влияние примеси ОНгрупп на люминесценцию эрбия в теллуритном
1.5 Применение теллуритных стекол3
1.6 Цель и задачи исследования
Глава 2. ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ТЕЛЛУРИТНЫХ
2.1 Методика получения стекол систем ТеУ0з, ТеЮзК.3,
2.2 Химическая стойкость и состав вольфрамтеллуритного стекла
2.3 Влияние примеси воды на ИКпропускание в вольфрамтеллуритном
2.4 Показатель преломления вольфрамтеллуритного стекла.
2.5 Микрооднородность вольфрамтеллуритного стекла
2.6 Комбинационное рассеяние вольфрамтеллуритного стекла.
2.7 Спектральнолюминесцентные параметры вольфрамтеллуритного
стекла, активированного эрбием и иттербием
2.8 Магнитооптические свойства теллуритного стекла Те7пС,
активированного неодимом, празеодимом, тербием, эрбием, иттербием и гольмием
2.8.1 Парамагнитные свойства вольфрамтеллуритного стекла,
1 активированного эрбием и иттербием
Глава 3. РАЗРАБОТКА СПОСОБА ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ТЕЛЛУРИТНЫХ СТЕКОЛ ВЧМАГНЕТРОПНЫМ РАСПЬЛЕШЕМ
3.1 Физикохимичсскис основы процесса ВЧмагнетронного распыления
3.2 Аппаратура для ВЧмагнетронного распыления
3.3 Мишени и подложки для ВЧраспыления.
3.4 Методика эксперимента.
3.5 Результаты эксперимента по выбору условий процесса формирования
3.6 Структура и состав пленок
Глава 4. ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТЕЛЛУРИТНЫХ ПЛЕНОК.
4.1 Оптические свойства пленок ТеОгОз
4.1.1 Показатель преломления.
4.1.2 Комбинационное рассеяние.
4.2 Оптические свойства пленок Те активированных эрбием и
иттербием.
4.2.1 Фотолюминесценция
4.2.2 Влияние термообработки на люминесцентные свойства
Глава 5. ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ
5.1 Определение спектральнолюминесцентных параметров
вольфрамтеллуритного стекла при помощи теории ДжаддаОфельта.
5.2 Влияние параметров распыления и термообработки на оптические
свойства и качество пленок.
5.2.1 Толщина пленок и скорость осаждения.
5.2.2 Влияние термообработки на фотолюминесцснтные свойства пленок
5.3 Особенности переноса распыленных атомов при нанесении пленок
вольфрамтеллуритного стекла.
ВЫВОДЫ.
ПРИЛОЖЕНИЕ.
СПИСОК ЦИТИРУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ


Международном симпозиуме Фото и электролюминесценция редкоземельных элементов в полупроводниках и диэлектриках г. СПетербург, октябрь г. Неоксидные стекла и новые оптические стекла г. Пардубице, Чешская Республика, сентябрь г. V Международной конференции Покрытия на стекле г. Саарбрюккеи, Германия, июль г. Международной конференции Европейского керамического общества Наночастицы, наноструктуры, нанокомпозиты г. С.Петербург, июль т. VI Международной конференции Покрытия на стекле и пластиках г. Дрезден, Германия, июнь г. Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, пяти глав, выводов, приложения, списка цитируемой литературы из 0 наименований, содержит . Во введении обоснована актуальность темы диссертации, сформулирована цель работы и задачи исследования, научная новизна, практическая значимость и основные положения, выносимые на защиту, кратко охарактеризовано содержание работы но главам, даны сведения о публикациях, в которых изложено основное содержание работы. Первая глава содержит обзор теоретических и экспериментальных работ, посвященных получению и исследованию структуры и свойств теллуритных стекол. Обзор заканчивается формулировкой задач исследования. Во второй главе приведены результаты экспериментального исследования физикохимических и оптических свойств ВГС. В третьей главе приведены физикохимические основы процесса ВЧмагнетронного распыления, описана методика эксперимента по получению пленок из ВТС ВЧмагиетронным распылением. В четвертой главе представлены результаты исследования структуры и оптических параметров пленок, полученных на основе ВТС методом ВЧмагиетронного распыления. В пятой главе обсуждаются результаты исследования оптических свойств ВТС и пленок на его основе. ДжаддаОфельта, включающий определение сил осцилляторов оптических переходов, радиационного времени жизни и сечения вынужденного излучения. Обсуждается разработанная модель переноса распыленных атомов при нанесении пленок вольфрамтеллуритного стекла методом ВЧмагнетронного распыления. В выводах сформулированы основные результаты работы. Гришин И. А., Гурьев В. А., Интюшин Е. Б., Еллиев Ю. Е., Савикин А. Синтез и свойства стекол системы , активированных эрбием и иттербием Неорганические материалы. Т. , 4. С. 1 3. Гурьянов . Самойловнч М. И., Цветков М. Ю., Интюшин Е. Б., Чигиринский ЮЛ. Особенности фотолюминесценции нанокомпозита опалтеллуритное стеклоЕг3 Журнал прикладной спектроскопии. Т. , 2. С. 5 7. Гришин И. А., Гурьев В. А., Еллиев Ю. Е., Павлова О. В., Интюшин Е. Б., Савикин А. П. Магнитооптические и люминесцентные свойства теллуритного стекла , легированного редкоземельными элементами Журнал прикладной химии. Т. , 8. С. . Дианов Е. М., Интюшин Е. Б., Колташев В. В., Плотниченко В. Г., Чигиринский ЮЛ. Приборы и техника эксперимента. Т. , 5. С. 0 2. Интюшин Е. Б., Чигиринский Ю. И. Получение аморфных пленок вольфрамотеллуригных стекол методом высокочастотного магнетронного распыления К Физика и химия стекла. Т. , 2. С. 9 2. Интюшин Е. Б., Чигиринский Ю. И. Патент на изобретение 3, решение о выдаче от г. Пленочный лазерный материал и способ его получения. С приоритетом от г. Глава 1. ПОЛУЧЕНИЕ. Диоксид теллура является условным стеклообразователем и в виде стекла , может быть получен лишь при охлаждении с высокой скоростью. Т, ТЪ, Р5, У5, КЬ5, Та5, , . Система Те представляет особый интерес для оптического стекловарения, так как триоксид вольфрама VI имеет высокий показатель преломления 2,5 и является одним из основных компонентов высокоиреломляющих теллуритных стекол. Как известно, диоксид теллура и триоксид вольфрама VI являются условными стеклообразователями и сами не образуют стекол . Чистый диоксид теллура, расплавленный в золотом тигле, при отливке кристаллизуется с образованием одноосных оптически положительных кристаллов парателлурита аТе. По данным работы при варке в кварцевых тиглях содержание 8Ю2 в стеклах к достигало 4 вес. А составляло около 8 вес. В системе ТеУ образуются устойчивые стекла, область стеклообразования которых лежит в пределах мол.