Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления
- Автор:
Шаныгин, Виталий Яковлевич
- Шифр специальности:
05.27.01, 05.09.10
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2015
- Место защиты:
Саратов
- Количество страниц:
144
Стоимость:
700 р.499 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Применение радиационных методов отбраковки потенциально ненадежных гетероструктур в технологии производства суперлюминесцентных диодов | Перевозчиков, Михаил Васильевич | 2012 |
| Исследование и разработка процесса формирования пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами для конденсатора с повышенной емкостью | Новак, Андрей Викторович | 2014 |
| Повышение импульсно-частотных, тепловых и инжекционных характеристик биполярных кремниевых структур методом радиационно-термической обработки | Лагов, Петр Борисович | 2017 |