Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления
- Автор:
Шаныгин, Виталий Яковлевич
- Шифр специальности:
05.27.01, 05.09.10
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2015
- Место защиты:
Саратов
- Количество страниц:
144
Стоимость:
700 р.499 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления», автор — Шаныгин, Виталий Яковлевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01, 05.09.10. Работа подготовлена в городе Саратов в 2015 году. Объем работы: 144. Внутренний код товара: 01008147339. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Моделирование туннельно-резонансного ЯМР квантового компьютера на основе твердотельных наноструктур | Ларионов, Алексей Александрович | 2002 |
| Микроэлектронная технология изготовления тонкопленочных датчиков газов | Просвирин, Денис Борисович | 2005 |
| Физические свойства и механизмы формирования низкоразмерных кремниевых структур во фторсодержащих средах | Проказников, Александр Владимирович | 2001 |