Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления
- Автор:
Шаныгин, Виталий Яковлевич
- Шифр специальности:
05.27.01, 05.09.10
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2015
- Место защиты:
Саратов
- Количество страниц:
144
Стоимость:
700 р.499 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Электронный транспорт в составных квантовых ямах InAlAs/InGaAs/InAlAs, содержащих наноразмерные вставки InAs | Пономарев, Дмитрий Сергеевич | 2012 |
| Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния | Лепшин, Павел Анатольевич | 1999 |
| Моделирование дозовых и одиночных радиационных эффектов в кремниевых микро- и наноэлектронных структурах для целей проектирования и прогнозирования | Зебрев, Геннадий Иванович | 2009 |