Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления
- Автор:
Шаныгин, Виталий Яковлевич
- Шифр специальности:
05.27.01, 05.09.10
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2015
- Место защиты:
Саратов
- Количество страниц:
144
Стоимость:
700 р.499 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения | Королев, Алексей Николаевич | 1998 |
| Атомарная структура поверхности и сенсорные свойства углеродных нанотрубок | Строганов, Антон Александрович | 2007 |
| Когерентные процессы в цепочках джозефсоновских контактов из высокотемпературных сверхпроводников при взаимодействии с электромагнитным излучением | Клушин, Александр Моисеевич | 2009 |