Физические свойства и механизмы формирования низкоразмерных кремниевых структур во фторсодержащих средах

• Автор: Проказников, Александр Владимирович
• Шифр специальности: 05.27.01
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2001
• Место защиты: Ярославль
• Количество страниц: 362 с. : ил

Введение. Глава 1. Глава 2. Введение. Общее кинетическое уравнение адсорбции. Закономерности формирования макро и микропористой структуры в кремнии п типа. Заключение. Выводы. Глава 5. Фотолюминесцентные свойства напряженных пористых слоев. Свойства спектров комбинационного рассеяния. Обсуждение результатов экспериментов. Выводы. Глава 6. Исследование физикохимических и фого. Введение. ИК спектроскопия пористых слоев. Тогда окисление кремния и последующее стравливание плавиковой кислотой будет происходить более интенсивно в области выхода токового шнура 1, 7. Исследовалась возможность образования сверхрешетки пор в ПК . Изучались изменения в энергетическом спектре носителей заряда, а также изменения оптических свойств, вызванные формированием свсрхрешстки пор, что было проиллюстрировано в рамках модели КронигаПенни с квантовыми ямами, которая позволяет получить выражения для волновой функции и спектра энергии электрона без дополнительных упрощений. Исследовалось влияние поверхностных состояний на энергетический спектр носителей заряда.


Анализ зависимости энергетического спектра от мощности квантовой ямы 2, которая связана с хемосорбцией молекул, позволяет заключить, что изменения сказываются не столь значительно на
спектре энергии, как изменения высоты барьера У0. Как показывают оценки, при наличии сверхрешетки пор следует ожидать большего влияния со стороны хемосорбированных полярных молекул на энергетический спектр носителей заряда, а следовательно и на проводимость пористого кремния. На основе единого подхода рассмотрена теоретическая модель процессов, лежащих в основе явления порообразования. Полагается, что система электролитполупроводник является единой, нелинейной системой, многостадийные процессы в которой обуславливают пространственную и временную самоорганизацию в процессе переноса заряда при анодном травлении. В модели рассматриваются процессы генерации и рекомбинации носителей заряда в кремнии, процессы переноса заряда в электролите, химические реакции на границе электролиткремний, а также процессы транспорта реагентов сквозь пористую среду. Рассмотренная теоретическая модель позволяет объяснить сложный характер вольтамперной зависимости, состоящей из участков с разным поведением, что обусловлено влиянием различных механизмов, зависящих от параметров системы. Показано, что до лавинного пробоя кремния изза низкой подвижности ионов фтора и слабой степени диссоциации молекул НУ лимитирующим процессом в электролите является перенос заряда ионами , а в приповерхностной области кремния птипа свободными электронами. При лавинном пробое в области пространственного заряда кремния вследствие генерационнорекомбинационной неустойчивости возможно образование токовых страт.