Влияние процесса плазмохимического травления на молекулярную структуру и интегральные свойства диэлектриков с ультранизкой диэлектрической проницаемостью
- Автор:
Резванов, Аскар Анварович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2019
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
191
Стоимость:
700 р.499 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Развитие методов атомно-силовой микроскопии для контроля электрических и электрофизических параметров объектов микроэлектроники | Коровкина, Наталья Михайловна | 2006 |
| Микроэлектронная технология изготовления тонкопленочных датчиков газов | Просвирин, Денис Борисович | 2005 |
| Исследование и разработка конструкции и технологии изготовления силовых интегральных микросхем на основе КМОП транзисторов | Тихонов, Роберт Дмитриевич | 2001 |