Технология осаждения пленок оксида вольфрама методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе
- Автор:
Морозова, Александра Александровна
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2015
- Место защиты:
Санкт-Петербург
- Количество страниц:
126 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Технология осаждения пленок оксида вольфрама методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе», автор — Морозова, Александра Александровна, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.06. Работа подготовлена в городе Санкт-Петербург в 2015 году. Объем работы: 126 с. : ил.. Внутренний код товара: 01007986273. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники | Залкинд, Яков Григорьевич | 2006 |
| Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции | Данилкин, Евгений Викторович | 2008 |
| Разработка научных основ создания и совершенствования программно-аппаратных средств исследования сегнетопьезоматериалов и прогнозирование термочастотного поведения их свойств для применения в датчиках нового поколения | Юрасов, Юрий Игоревич | 2019 |