Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния
- Автор:
Александров, Олег Викторович
- Шифр специальности:
01.04.10
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Санкт-Петербург
- Количество страниц:
322 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния», автор — Александров, Олег Викторович, относится к типу: докторская диссертация по специальности 01.04.10. Работа подготовлена в городе Санкт-Петербург в 2003 году. Объем работы: 322 с. : ил. Внутренний код товара: 01002607228. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование энергетических структур твердых тел тензорным методом | Захарчук, Светлана Юрьевна | 1997 |
| Физические основы инженерии дефектов в технологии кремниевых силовых высоковольтных и светоизлучающих структур | Соболев, Николай Алексеевич | 2009 |
| Электрические и фотоэлектрические свойства неидеальных гетеропереходов на основе кремния: GaAsSi, GaPSi, бета-SiCSi | Шаронова, Лариса Васильевна | 1984 |