Теплофизические свойства легированного кремния

• Автор: Игамбердыев, Хусан Таджиевич
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1984
• Место защиты: Тбилиси
• Количество страниц: 141 c. : ил

ГЛАВА. I. ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ЛЕГИРОВАННОГО КРЕШИЯ.

1.1. Основные свойства глубоких примесных центров в кремнии

1.2. Методы исследования примесных центров

( дефектов ) в полупроводниках

1.3. Теплопроводность как метод исследования примесных центров

1.4. Теория теплопроводности твердых тел

1.4.1. Теплопроводность идеальных кристаллов

1.4.2. Влияние точечных дефектов на теплопроводность твердых тел

1.5. Теплофизические свойства кремния

ГЛАВА II. МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЯ ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ

ЛЕГИРОВАННОГО КРЕШИЯ.

2.1. Общие сведения о методах измерения.теплопроводности твердых тел и выбор методики «
2.2. Общие сведения о методах измерения теплоемкости твердых тел при низких температурах и выбор методики
2.3. Описание экспериментальных установок
2.3.1. Ячейка для измерения теплопроводности
2.3.2. Методика измерения теплопроводности
2.3.3. Погрешности измерения теплопроводности
2.4. Ячейка для измерения теплоемкости
2.4.1. Методика измерения теплоемкости
2.4.2. Погрешности измерения теплоемкости
2.5. Методика изготовления образцов и контроль их качества
вывода
ГЛАВА III. ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЛЕГИРОВАННОГО КРЕШИЯ.
3.1. Теплопроводность исходного кремния
3.2. Влияние высокотемпературного отжига на теплопроводность "чистого” кремния,
3.3. Температурная зависимость теплопроводности кремния легированного примесями с глубокими уровнями
3.4. Резонансное рассеяние фононов на.тяжелых примесных атомах золота и родия
3.4.1. Низкотемпературная аномалия температурной зависимости теплоемкости легированного кремния
3.5. Машинная обработка экспериментальных данных по теплопроводности и обсуждение результатов
3.5.1. Рассеяние фононов на примесях при,низких температурах
3.5.2. Рассеяние фононов на,легирующих.примесях при температурах больших 90 К
вывода
Глава IV. НЕКОТОРЫЕ ПРАКТИЧЕСКИЕ ПРИЛОЖЕНИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ ИССЛЕДОВАНИЯ ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЛЕГИРОВАННОГО КРЕШИЯ.
4.1. Теплопроводность низкоомного кремния легированного примесями золота,серы и никеля
4.2. О возможности определения природы глубоких примесных центров в кремнии методом теплопроводности
4.3. О возможности получения диэлектрических материалов с высокой теплопроводностью при низких температурах
4.4. Исследование кинетики распада твердого раствора кремний - золото
вывода
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Список опубликованных работ по теме диссертации.,,. 129 Литература

посеребрены и на эти боковые поверхности намотаны нагреватели из константановой проволоки марки ПЭШОК-ОД. Системы калориметр-адиабатный экран и адиабатный экран-следящий экран связаны между собой посредством многоспайной дифференциальной термопары (5,6), спаи которых равномерно распределены по поверхности калориметра и экранов. Электрическая изоляция и тепловой контакт спаев термопар обеспечивается клеем БФ-2 с последующей полимеризацией. Применение следящего экрана (4) обусловлено необходимостью обеспечения устойчивого режима работы адиабатного экрана при минимальных мощностях его нагревателя. Калориметр и экраны подвешены на тонких капроновых нитях к антиградиентному кольцу (7). Назначение этого кольца - это приведение температуры пучка проводов к температуре адиабатного экрана, что уменьшает градиенты температуры на последнем. На этом кольце размещена контактная группа из медных электродов, изолированных от кольца тефлоновой прокладкой. На контактной группе распаиваются концы электродов термометра и нагревателей. Необходимо отметить, что во избежании появления «паразитных” термоэдс электроды термопар выводятся в зону комнатных температур без промежуточных контактов. На боковой поверхности кольца (7) размещен нагреватель и кольцо связано с следящим экраном дифференциальной термопарой (8). Для устранения температурных градиентов на следящем и адиабатных экранах,а также для получения устойчивой работы системы САР применен тер-мостатирующий экран (9) и дифференциальная термопара (10). Этот экран изготовлен из меди, на его боковой поверхности размещен нагреватель. Все вышеперечисленные системы подве-