Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки
- Автор:
Варзарев, Юрий Николаевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Таганрог
- Количество страниц:
117 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Термическое окисление монокристаллов карбида кремния политипа 6Н | Рябинина, Ирина Александровна | 2010 |
| Влияние конструктивно-технологических факторов на электрические параметры мощных ВЧ и СВЧ МОП транзисторов | Бородкин, Игорь Иванович | 2012 |
| Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии | Фадеев, Алексей Владимирович | 2014 |