Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки
- Автор:
Варзарев, Юрий Николаевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Таганрог
- Количество страниц:
117 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки», автор — Варзарев, Юрий Николаевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Таганрог в 1998 году. Объем работы: 117 с. : ил.. Внутренний код товара: 01000212145. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники | Кушхов, Аскер Русланович | 2004 |
| Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки | Лысенко, Игорь Евгеньевич | 2002 |
| Исследование процессов низкотемпературного плазмостимулированного роста пленок диоксида циркония, стабилизированного иттрием | Наумов, Виктор Васильевич | 1999 |