Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки
- Автор:
Варзарев, Юрий Николаевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Таганрог
- Количество страниц:
117 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака | Новоселов, Константин Петрович | 2000 |
| Основы теории непрерывного технологического контроля параметров нанокомпозитных структур в технологии ионно-плазменных процессов | Баранов, Александр Михайлович | 2003 |
| Идентификация фаз в системах Ba-Bi-O и K-Ba-Bi-O методами просвечивающей электронной микроскопии | Николайчик, Владимир Иванович | 2009 |