Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС
- Автор:
Рыбачек, Елена Николаевна
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
162 с.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Экспериментальное моделирование дозовых ионизационных эффектов в аналоговых изделиях биполярной, БиКМОП- и КМОП-технологии в условиях длительного низкоинтенсивного облучения | Петров, Александр Сергеевич | 2018 |
| Физико-технологические основы повышения эффективности полупроводниковых источников света | Щербаков, Валентин Николаевич | 2007 |
| Датчики на поверхностных акустических волнах с управляемой химической селективностью для систем электронного носа и газовой хроматографии | Земляков, Валерий Евгеньевич | 2002 |