Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС
- Автор:
Рыбачек, Елена Николаевна
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
162 с.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Процессы самоорганизации наноструктур в углеродистой среде, активируемой потоком электронов, в сильных электрических полях | Мордвинцев, Виктор Матвеевич | 2000 |
| Карбидокремниевые микромеханические ключи | Лагош, Антон Валерьянович | 2017 |
| Исследование и разработка технологии создания мемристоров на основе композитных материалов | Горшков, Константин Викторович | 2012 |