Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС
- Автор:
Рыбачек, Елена Николаевна
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
162 с.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС», автор — Рыбачек, Елена Николаевна, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 1998 году. Объем работы: 162 с.. Внутренний код товара: 01000197142. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Физико-топологическое моделирование электрофизических параметров и тепловых полей в GaAs и GaN HEMT структурах в условиях радиационного воздействия | Тарасова, Елена Александровна | 2017 |
| Исследование влияния конструкции и электрофизических параметров р-п-р-п структур на переходные процессы в быстродействующих тиристорах | Ковров, Алевтин Михайлович | 1986 |
| Механизмы формирования, оптические и электронные транспортные свойства ансамблей квантовых колец GaAs/AlGaAs | Сибирмовский, Юрий Дмитриевич | 2018 |