Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС
- Автор:
Рыбачек, Елена Николаевна
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
162 с.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка технологии изготовления и исследование сенсорных элементов на основе анодных оксидных пленок меди | Светличная, Людмила Александровна | 2008 |
| Границы раздела в тонкопленочных структурах с сегнетоэлектрическими слоями | Афанасьев, Петр Валентинович | 2006 |
| Проектирование структуры межсоединений программируемых логических интегральных схем | Быстрицкий, Алексей Викторович | 2012 |