Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС
- Автор:
Рыбачек, Елена Николаевна
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
162 с.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Сверхвысокочастотные свойства композитов на основе диэлектрических матриц с включениями в виде углеродных нанотрубок, частиц мелкодисперсного графита и ферритовых микрочастиц | Романов, Андрей Вячеславович | 2010 |
| Разработка способов оптимизации технологии металлизации полупроводниковых структур | Гукетлов, Хасан Мухамедович | 2004 |
| Влияние адсорбции цезия с кислородом и органических молекул на электронные свойства поверхностей полупроводников для эффективных эмиттеров | Наконечников, Александр Владимирович | 2005 |