Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС
- Автор:
Рыбачек, Елена Николаевна
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1998
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
162 с.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС», автор — Рыбачек, Елена Николаевна, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 1998 году. Объем работы: 162 с.. Внутренний код товара: 01000197142. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Мощные лазеры на свободных электронах : Вопросы теории и применений | Барышников, Федор Федорович | 2001 |
| Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом | Абрамова, Елена Александровна | 2003 |
| Исследование и разработка методов повышения производительности интегральных схем реконфигурируемых вычислительных систем | Артамонов, Дмитрий Сергеевич | 2010 |