Структуро- и формообразование микро- и наносистем на основе широкозонных материалов, обладающих полиморфизмом

• Автор: Лучинин, Виктор Викторович
• Шифр специальности: 01.04.10
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 505 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ЭВОЛЮЦИЯ МАТЕРИАЛОВЕДЧЕСКОГО И
АНАЛИТИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО БАЗИСА МИКРО-И НАНОСИСТЕМ
1.1.Системный подход к процессам микро- и нанотехнологии
1.1.1. Классификация процессов микро- и нанотехнологии
1.1.2 .Эволюция принципов структурно-топологического
кодирования
1.1 .ЗЛринцип селективности. Самоформирование
1.1.4.Принцип матрицы - фундамент интегрированных междисциплинарных технологий
1.1.5.Структурообразование в условиях самоорганизации
1.2.Неорганические и органические широкозонные материалы
как материаловедческий базис микро- и наносистем
1.2.1 .Композиция «карбид кремния - нитрид алюминия»
1.2.2.Биоорганические молекулы как базис сенсорных и информационных систем нового поколения
1.3.Развитие аппаратурно-методического базиса технологии и диагностики микро- и наносистем
1.3.1 .Технологическая база
1.3.2.Контрольно-диагностическая база
1.4.Вывод ы
1.5.Постановка задачи диссертационной работы

ГЛАВА 2. ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
АДАПТИВНОГО МАТРИЧНОГО СИНТЕЗА ВЕЩЕСТВ, ОБЛАДАЮЩИХ ПОЛИМОРФИЗМОМ
2.1.Полиморфизм и политипизм. Основные понятия и теории
2.1 Л. Понятие «структура»
2.1.2. Методы описания структур
2.1.3.Формальное упорядочение политипного множества
2.1.4. Основные теории политипизма
2.2.Ростовая репликационная устойчивость матрицы
2.2.1 .Временной вероятностно-статистический подход
2.2.2.Неравновесный термодинамический подход
2.2.3.Кинетический ростовой макроскопический подход
2.3.Матричная репликация с инородного изоструктурного субстрата
2.3.1. Аккомодация примесей как возможный источник
структурной информации
2.3.2.Изоструктурное копирование инородного субстрата при синтезе редких политипов
2.4.Синтаксия и ростовая эволюция политипной фазовой
границы
2.4.1.Движение межфазной границы при синтаксии.
Двумерное зародышеобразование
2.4.2.Движение межфазной границы при синтаксии. Слоистоспиральный рост
2.5.Управляемый синтез гетерополитипных композиций
карбида кремния
2.5.1 .Управляемая синтаксия политипов карбида кремния
2.5.2.Элементарные технологические операции управления
кристаллической структурой

2.6.Выводы
ГЛАВА 3. УПРАВЛЯЕМЫЙ СИНТЕЗ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ КОМПОЗИЦИЙ В СИСТЕМЕ «КАРБИД КРЕМНИЯ
НИТРИД АЛЮМИНИЯ»
ЗЛ.Моделирование процессов структурного и химического
упорядочения в системе «БіС-АИЧ»
3.1.1. Модель химического упорядочения
3.1.2. Модель структурного упорядочения
3.1.3. Аналитическое рассмотрение однокомпонентного потока
3.1.4. Аналитическое рассмотрение двухкомпонентного потока... 235 3.2.Экспериментальное изучение процессов структурного и
химического упорядочения в системе «БіС-АШ»
3.2.1. Структурно-химическое упорядочение в системе «8І-С»
при физическом распылении мишени
3.2.2. Структурно-химическое упорядочение при ионнохимическом осаждении слоев в системах «А1+К2» и «ві+СЕЕ»
3.3. Структурно-ориентационный изоморфизм в системе «8іС-АШ»
3.3.1. Моделирование границ сопряжения
3.3.2. Экспериментальные исследования структурноориентационного ростового изоморфизма в системе «БІСАМ»
3.3.3. Разработка алгоритмов управляемого получения редких политипов и гетерополитипных композиций в системе «віС-АШ»
3.4.Вывод ы

Таблица
Тенденции развития микро- и нанотехнологии
Объект эволю- ции Характеристика процесса, среды, объекта Технология
стандарт- ная современная будущая
искусственная естественная
Процесс физико- химическая сущность Термическая химическая Корпускулярная, химическая Корпускулярно- полевая Химическая, механическая, полевая
Способ активации Тепло Излучение Излучение, поле Тепло, поле
Вид Нанесение, удаление, модифициро вание Нанесение, модифицирование, удаление Модифицирование, нанесение Нанесение
Характер протекания Тотальная Локальная Локальная, селективная Селективная
Временная организация Дискретная Дискретно- непрерывная Непрерывная Непрерывная
Пространственная организация Групповой обработки Индивидульной обработки Индивидуальной обработки Групповой
Интеллектуаль- ность Ручной обработки Автоматизиро- ванная Гибкая Самоформи- рование, самооргани- зация
Экологичность Открытая, опасная, вредная Открытая, опасная, вредная Замкнутая, опасная, вредная Открытая, безопасная, безвредная
Объект воздейст- вия Состав Гомогенная, гетерогенная Гомогенная, гетерогенная Гомогенная, гетерогенная Гомогенная
Структура Однородная, изотропная, анизотроп- ная Однородная, дифференци- альная, изотропная, анизотропная Дифференци- рованная, анизотропная Однородная, изотропная, анизотропная
Упорядочение Двумерная, тотальная, локальная Двумерная, трехмерная, тотальная, локальная Двумерная, одномерная, трехмерная, локальная Одномерная, двумерная
Разрешение Микроско- пическая Микроскопи- ческая, субмикроско- пическая Субмикроско- пическая, макромолеку- лярная Моле- кулярная, макромолеку- лярная