Влияние параметров центров захвата на фотоэлектрические свойства кристаллов типа силленита

• Автор: Умрихин, Владимир Васильевич
• Шифр специальности: 01.04.10
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Курск
• Количество страниц: 159 с. : ил.

ОГЛАВЛЕНИЕ

ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА МОНОКРИСТАЛЛОВ ТИПА
СИЛЛЕНИТА
1.1. Методы получения кристаллов типа силленита
1.2. Кристаллическое строение кристаллов типа силленита
1.3. Энергетический спектр локальных состояний в запрещенной зоне кристаллов со структурой силленита
1.4. Природа локальных состояний в запрещенной зоне кристаллов со структурой силленита
1.5. Особенности процессов фотогенерации подвижных носителей заряда в кристаллах типа силленита
Выводы
ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ И УСТРОЙСТВА
2.1. Экспериментальная установка для вакуумной технологии
2.1.1. Особенности метода магнетронного нанесения пленок
2.1.2. Конструкция катодных узлов
2.1.3. Источник электропитания магнетронной распылительной системы
2.1.4. Устройство стабилизации давления в рабочем объеме
2.1.5. Устройство стабилизации температуры подложки
2.2. Методики измерений электрических и оптических свойств пленок
2.3. Физико-химические методы подготовки пластин для вакуумной технологии
2.4. Методика получения проводящих слоев
2.4.1. Материалы для проводящих слоев
2.4.2. Режимы получения прозрачных проводящих электродов

2.5. Методика получения диэлектрических слоев
2.5.1. Диэлектрические материалы
2.5.2. Режимы получения диэлектрических слоев
2.6. Методики измерения фотоэлектрических свойств образцов
2.6.1. Методика измерения термостимулированных токов
2.6.2. Методика измерения спектральных характеристик поглощения и фотопроводимости
2.6.3. Методика измерения температурной зависимости фототека
Выводы
ГЛАВА 3. ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ СТАЦИОНАРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ФОТОТОКА КРИСТАЛЛОВ ТИПА СИЛЛЕНИТА
3.1. Четырехуровневая модель механизма электронных переходов типа уровень прилипания - уровень рекомбинации
3.2. Анализ численных методов решения плохо обусловленных систем нелинейных уравнений
3.3. Алгоритм решения кинетических уравнений для четырехуровневой модели электронных переходов
3.3.1. Система кинетических уравнений для четырехуровневой модели
3.3.2. Алгоритм расчета температурной зависимости фототека
3.4. Результаты расчета и их анализ
Выводы
ГЛАВА 4. ВЛИЯНИЕ ЛЕГИРОВАНИЯ НА ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ
СВОЙСТВА КРИСТАЛЛОВ ТИПА СИЛЛЕНИТА
4.1. Термостимулированный ток в легированных кристаллах титаната висмута
4.2. Исследование температурных зависимостей темнового и фототека легированных кристаллов титаната висмута

4.3. Фотоэлектрические свойства кристаллов силленита, легированных цинком
4.3.1. Спектральные характеристики поглощения и фотопроводимости кристаллов силленита
4.3.2. Исследование температурных зависимостей фототока
Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА

сложной задачей. Структурная схема экспериментальной установки для магне-тронно-ионного нанесения функциональных покрытий приведена на рис.2.2.
2.1.2. Конструкция катодных узлов
Катодный узел - один из важнейших элементов MPC [74]. Обычно он состоит из мишени, изготовленной из распыляемого материала, и ее водоохлаждаемого держателя. При изготовлении мишени и катодного узла в целом требуется обеспечить следующие требования [64]:
- высокую чистоту и плотность материала мишени, а при использовании мишеней из сплавов - точность легирования материала мишеней примесями и их равномерное распределение по всему объему мишени;
- эффективное охлаждение мишени, чтобы ее температура в процессе распыления не превышала 100 °С;
- максимальное использование материала мишени. В материале мишени недопустимы инородные включения, пустоты, трещины, неравномерное распределение легирующих примесей, поскольку в противном случае загрязняются формируемые слои, распыление поверхности мишени становится неоднородным, появляются дугообразование в процессе распыления и ряд других побочных явлений.
С учетом этих требований были разработаны три катодных узла с мишенями из хрома, алюминия и сплава: 95% индий + 5% олово. Диаметры мишеней и установочные места имели одинаковые размеры. Все три катодных узла имеют планарную конструкцию (рис.2.2). Охлаждение мишеней - косвенное, используется водоохлаждаемый медный держатель. Хороший тепловой контакт мишени с держателем обеспечивается легкоплавким припоем на основе индия.
При проектировании магнитной системы руководствовались следующими требованиями [75]: