Применение зондирующего СВЧ электромагнитного излучения для определения рекомбинационных свойств полупроводников

• Автор: Тюрнев, Николай Валерьевич
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 94 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ. Краткое содержание работы. Глава 1. Обзор литерату ры. Глава 2. Краткое описание СВЧ измерительных установок. Постановка задачи исследования. Глава 3. Разработка методики определения времени жизни и скоростей поверхностной рекомбинации в кремниевых пластинах. Анализ результатов измерения. Выводы. Общие выводы и научная новизна диссертации. Список использованной литературы. ММНМИНИ1ИММИМММММ1ИММ
1. Введение. Цель работы и задачи, решаемые в диссертации. В диссертации изложены результаты исследований кинетики неравновесных носителей заряда в кремниевых пластинах при комнатных температурах, проведенных нами в рамках инициативных исследований в МГИЭТ на кафедре МПТЭ, в ОАО Элма и в НПО ТелекомСТВ Зеленоградский округ г. Москвы. Проблемы, связанные с исследованием кинетики рекомбинации электроннодырочных пар, правильная их итперпретацня, дает возможность определить качество исходных полупроводниковых материалов как на наличие объемных в частности, точечных дефектов в решетке кремния, так и оценивать свойства поверхностей раздела пластин до или после какихлибо технологических операций передела.


В конце главы краткие выводы. В заключительной четвертой части Глава 3 дается описание эксперимента, который включает в себя разработку математического и программного обеспечения для решения поставленной задачи, подготовку исходных материалов, проведение измерений и анализ результатов измерений. В конце главы приводятся краткие выводы. Далее в конце работы даются общие выводы по диссертации и приводится список использованной литературы. Защищаемые положения и апробация работы. Теоретический анализ чувствительности СВЧ тракта для прямоугольных и коаксиальных апертур волноводов в присутствии исследуемой полупроводниковой пластины. Волноводный тракт прямоугольного сечения перспективен для бесконтактного способа проведения измерений в силу слабой зависимости величины коэффициента отражения от расстояния между апертурой и образцом. Волноводный факт коаксиального типа более чувствителен к фазе отраженной СВЧ волны, но только при тесном контакте с пластиной, хотя чувствительность такой системы существенно болсс, чем 0 раз выше, чем в случае волновода прямоугольного сечения. Предлагается метод определения рекомбинационных параметров пластин кремния СВЧ методом на основе исследования кривых релаксации фотопроводимости, полученных от образцов кремния различной толщины. Показано, что имеется корреляция между объемным временем жизни и скоростью поверхностной рекомбинации на сторонах исследуемых пластин. I. Тюрнев Н. В. Калибровка СВЧустановок измерения удельного сопротивления эпитаксиальных слоев, тезисы доклада.