Получение и исследование свойств наногетерогенных структур на основе системы вольфрам-углерод

• Автор: Чмырова, Ольга Леонидовна
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2001
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 153 с.

1. Технологические особенности формирования структур вольфрамуглерод

1.1. Требования, предъявляемые к тонкопленочной системе вольфрамуглерод

1.2. Современные способы формирования сверхтонких структур

1.3. Получение сверхтонких пленок при импульсной конденсации электроэрозионной дуговой плазмы
1.4. Выводы
2. Конструктивнотехнологические решения формирования сверхтонких пленок в двухканаой,установке импульсного осаждения электроэрозионной дуговой плазмы.

2.1. Особенности генерации электроэрозионной плазмы

с лазерным возбуждением основной дуги.

2.2. Двухканальная плазмооптическая система.

2.3. Нормировка скорости осаждения электроэрозионной дуговой

плазмы
2.4. Выводы.
3. Получение и исследование свойств наногетерогенных структур вольфрамуглерод, полученных при импульсной конденсации
электроэрозионной плазмы
3.1. Получение и свойства сверхтонких пленок вольфрама
3.2. Получение и свойства сверхтонких пленок углерода.
3.3. Исследование стабильности границы раздела вольфрамуглерод.
3.4. Получение и свойства сверхтонких пленок состава УХС
3.5. Исследование проводимости сверхтонких пленок .
3.6. Выводы
4. Практическое применение структур вольфрамуглерод
4.1. Многофункциональные сверхтонкие пленки УХС для кантилеверов сканирующих зондовых микроскопов.
4.2. Перспективы использования импульсной конденсации электроэрозионной дуговой плазмы для многослойных
элементов рентгеновской оптики.
4.3. Выводы
Заключение.
Список используемой литературы


Использование зондов с легированным алмазным покрытием, выдерживающих высокое давление при исследовании поверхности, покрытой пленкой диэлектрика например, кремниевая подложка с пленкой естественного окисла, ограничивает возможность исследования объектов нанометровых размеров, поскольку радиус кривизны иглы таких кантилевсров велик и составляет 0 нм . В то же время радиус кривизны игл исходных кремниевых кантилевсров находится в диапазоне от 5 до нм и строго контролируется, а при отработанной технологии удается гарантировать с вероятностью примерно значение не хуже нм . Поэтому хотелось бы, чтобы наносимые пленки, по возможности, незначительно изменяли радиус кривизны игл зондов т. Если для решения исследовательских задач СЗМ важно создание покрытий кантилевсров заданного состава и с заданными свойствами, то для многослойной рентгеновской оптики главную роль играет стабильность используемых многослойных структур МСС. Применение МСС, состоящих из чередующихся тонких слоев сильно и слабопоглощающих материалов i. I до нм, так называемую область мягкого рентгеновского излучения, которая оказалась вне зоны досягаемости как обычных зеркал и линз, так и совершенных кристаллов их рабочий диапазон 0,. Как рентгеновские зеркала, многослойные композиции по сравнению с обычными кристаллами позволяют легко изменять параметры зеркал путем подбора компонентов покрытия, толщины слоев периода и их числа. А. нм, рентгеновского микроскопа в области окна прозрачности воды с длиной волны Х2,3. Ведутся исследования в области создания многослойных фильтров уизлучения на основе резонансных изотопов 7Ре, ,Тш. Та и по физике и технологии изготовления материалов для сверхплотной записи информации . Исходя из условий выбора материалов 5,, составляющих МСС, диапазон 0,1.