Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции
- Автор:
Данилкин, Евгений Викторович
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2008
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
166 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка и исследование технологических основ создания углеродных нанотрубок методом каталитического пиролиза этанола | Симунин, Михаил Максимович | 2009 |
| Получение и свойства кристаллов LiNa₅Mo₉O₃₀ | Сухарев, Виктор Александрович | 2019 |
| Исследование и разработка прогрессивной технологии прецизионных гибких полиимидных шлейфов для высокоплотного монтажа | Семенин, Сергей Николаевич | 2006 |