Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции
- Автор:
Данилкин, Евгений Викторович
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2008
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
166 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка двух- и трехкомпонентных пьезокомпозитов с улучшенными электромеханическими свойствами для акустических преобразователей | Борзов, Петр Алексеевич | 2018 |
| Разработка методов синтеза нанодисперсного люминофора NaYF4:Yb:Er для биомедицинских исследований | Ясыркина, Дарья Семеновна | 2014 |
| Научные основы и практические аспекты разработки технологии создания тонких полупроводниковых слоев кремния на изолирующих подложках применением процессов ионной обработки | Мустафаев, Арслан Гасанович | 2011 |