Материалы и процессы формирования многослойной металлизации кремниевых СБИС

• Автор: Громов, Дмитрий Геннадьевич
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 271 с. : ил.

ВВЕДЕНИЕ Глава 1. ФИЗИКОХИМИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПРОЦЕССОВ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ В СИСТЕМАХ, СОСТОЯЩИХ ИЗ ДВУХ КОНТАКТИРУЮЩИХ ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ТВЕРДЫХ МАКРОФАЗ СИСТЕМЫ МРТА . II. Физикохимическая модель взаимодействия двух контактирующих твердых фаз. Д Ж V Ж 1 V 1 V а а а а а а аааааааааааааааа аааааааааааа 1. Система i 1. Система V

1. Д М а Л Ж V Ж V 1 Ж 1. Выводы к Главе 1 3

Глава 2. ПРОЦЕСС ФОРМИРОВАНИЯ ДВУХСЛОЙНОЙ СТРУКТУРЫ ПРИ ВЗАИМОДЕЙСТВИ И МЕЖДУ ТОНКИМИ ПЛЕНКАМИ СПЛАВОВ ПЕРЕХОДНЫХ МЕТАЛЛОВ И КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКОЙ. Глава 3. Анализ процессов деградации тонких контактных и диффузионнобарьерных слоев в системе металлизации кремниевой ИС. Критерий выбора материала контактного слоя. Если при этом остался излишек другой контактирующей фазы, в результате чего вновь имеется две контактирующие фазы, одной из которых теперь является образовавшееся соединение или смесь соединений, по тому же принципу будет протекать процесс образования соединения или соединений более обогащенных компонентом избыточной исходной фазы.


Однако если рассмотреть все возможные в системе последовательности химических реакций образования соединений и рассчитать значения АНуУ этих реакций, определяются величины суммарного изменения некоторого параметра, характеризующего изменение и в системе, относительно исходного состояния у в результате каждой следующей реакции в последовательности. Эти значения можно расположить в зависимости от мольной доли д компонента избыточной начальной фазы в соответствующих соединениях, поскольку в химической кинетике изменение мольной доли компонентов с учетом порядков реакций при последовательном образовании соединений может выступать как фактор времени . Ьхс б , 1. Очевидно, что в случае бесконечно большого количества компонента одной из исходных фаз по сравнению с компонентом второй исходной фазы, все пути должны вести к одному и тому же равновесному состоянию бесконечно разбавленному раствору компонента второй фазы в компоненте первой. Это состояние характеризуется одним определенным уровнем внутреннего давления, поэтому все кривые их, получаемые в процессе аппроксимации, должны сходиться в одну точку при х. Наиболее предпочтительный путь определяется в соответствии с обоснованным выше правилом. У. 2. Физикохимическое обоснование параметра АН0. V хАх2А2 у3Л3 . Принимая, что при О К Н1, изменение энтальпии в результате этой реакции
А,Н0 0А и. ЛА, иДиАО . Величины ф1УУуУ0 и 2Л0 в выражении 1. А, и А в объеме новой фазы А, возникающем в результате химической реакции 1. Таким образом, изменение энтальпии в результате химической реакции, отнесенное к объему образующейся новой фазы, при 0 К характеризует изменение плотности внутренней энергии в системе.